ಟೊಳ್ಳಾದ ಕ್ಯಾಥೋಡ್ ಅಯಾನು ಲೇಪನದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ

ಟೊಳ್ಳಾದ ಕ್ಯಾಥೋಡ್ ಅಯಾನು ಲೇಪನದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಈ ಕೆಳಗಿನಂತಿರುತ್ತದೆ:

1, ಕುಸಿತದಲ್ಲಿ ಚಿನ್ ಗಟ್ಟಿಗಳನ್ನು ಹಾಕಿ.

2, ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್ ಅನ್ನು ಆರೋಹಿಸುವುದು.

3, 5×10-3Pa ಗೆ ಸ್ಥಳಾಂತರಿಸಿದ ನಂತರ, ಆರ್ಗಾನ್ ಅನಿಲವನ್ನು ಸಿಲ್ವರ್ ಟ್ಯೂಬ್‌ನಿಂದ ಕೋಟಿಂಗ್ ಚೇಂಬರ್‌ಗೆ ಪರಿಚಯಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಾತ ಮಟ್ಟವು ಸುಮಾರು 100Pa ಆಗಿದೆ.

4, ಪಕ್ಷಪಾತ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಆನ್ ಮಾಡಿ.

5, ಟೊಳ್ಳಾದ ಕ್ಯಾಥೋಡ್ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಅನ್ನು ಹೊತ್ತಿಸಲು ಆರ್ಕ್ ಪವರ್ ಅನ್ನು ಆನ್ ಮಾಡಿದ ನಂತರ ಬಟನ್ ಟ್ಯೂಬ್ನಲ್ಲಿ ಗ್ಲೋ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುತ್ತದೆ, ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ವೋಲ್ಟೇಜ್ 800 ~ 1000 ವಿ, ಆರ್ಕ್-ರೈಸಿಂಗ್ ಕರೆಂಟ್ 30 ~ 50 ಎ. ಗ್ಲೋನ ಟೊಳ್ಳಾದ ಕ್ಯಾಥೋಡ್ ಪರಿಣಾಮದಿಂದಾಗಿ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್, ಹೈ ಗ್ಲೋ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಕರೆಂಟ್ ಡೆನ್ಸಿಟಿ, ಸಿಲ್ವರ್ ಟ್ಯೂಬ್‌ನಲ್ಲಿರುವ ಇಲಿ ಅಯಾನುಗಳ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯು ವಾಂಟೇಜ್ ಟ್ಯೂಬ್‌ನ ಗೋಡೆಗೆ ಬಾಂಬ್ ಹಾಕುತ್ತದೆ, ಟ್ಯೂಬ್ ಗೋಡೆಯು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಹರಿವಿನ ಹೊರಸೂಸುವಿಕೆಗೆ ವೇಗವಾಗಿ ಬೆಚ್ಚಗಾಗುವಂತೆ ಮಾಡಿ, ಗ್ಲೋ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಹಠಾತ್ ಬದಲಾವಣೆಯಿಂದ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಮೋಡ್ ಆರ್ಕ್ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್,ವೋಲ್ಟೇಜ್ 40~70V, ಪ್ರಸ್ತುತ 80~300A. ಸಿಲ್ವರ್ ಟ್ಯೂಬ್ ತಾಪಮಾನವು 2300K ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಪ್ರಕಾಶಮಾನ, ಟ್ಯೂಬ್‌ನಿಂದ ಆರ್ಕ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್‌ಗಳ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಸ್ಟ್ರೀಮ್ ಅನ್ನು ಹೊರಸೂಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಆನೋಡ್‌ಗೆ ಹೊಡೆದಿದೆ.

6, ನಿರ್ವಾತ ಮಟ್ಟ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ ಸಾಧ್ಯವಾದಷ್ಟು ಬೇಗ ಅನಿಲ, ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಮಟ್ಟವನ್ನು ಲೇಪನಕ್ಕೆ ಸೂಕ್ತವಾದ ಶ್ರೇಣಿಗೆ ಹೊಂದಿಸಿ.

7, ಟೈಟಾನಿಯಂ ಲೇಪಿತ ಬೇಸ್ ಲೇಯರ್. ಆನೋಡಿಕಲ್ ಕುಸಿದ ಚಿನ್ ಮೆಟಲ್ ಇಂಗೋಟ್‌ನ ಮೇಲೆ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಹರಿವು, ಚಲನ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಉಷ್ಣ ಶಕ್ತಿಯಾಗಿ ಪರಿವರ್ತಿಸುವುದು, ಬಿಸಿ ಮಾಡುವ ಮೂಲಕ ಚಿನ್ ಲೋಹದ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆ, ಆವಿ ಪರಮಾಣುಗಳು ಟೈಟಾನಿಯಂ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್ ಅನ್ನು ತಲುಪುತ್ತವೆ.

8, TiN. ನೈಟ್ರೋಜನ್ ಅನಿಲದ ನಿಕ್ಷೇಪವನ್ನು ಲೇಪನ ಕೋಣೆಗೆ ಸರಬರಾಜು ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ, ಸಾರಜನಕ ಅನಿಲ ಮತ್ತು ಆವಿಯಾದ ಪರಮಾಣುಗಳನ್ನು ಸಾರಜನಕ ಮತ್ತು ಟೈಟಾನಿಯಂ ಅಯಾನುಗಳಾಗಿ ಅಯಾನೀಕರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ ಮೇಲೆ, ಟೈಟಾನಿಯಂ ಆವಿಯ ಸ್ಟ್ರೀಮ್ಗಳ ಕಡಿಮೆ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಪರಮಾಣುಗಳ ಅಸ್ಥಿರ ಘರ್ಷಣೆಯ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಂಭವನೀಯತೆ. ಲೋಹದ ವಿಘಟನೆಯ ಪ್ರಮಾಣವು 20%~40% ನಷ್ಟು ಹೆಚ್ಚಾಗಿರುತ್ತದೆ., ಟೈಟಾನಿಯಂ ಅಯಾನುಗಳು ರಾಸಾಯನಿಕವಾಗಿ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸುವ ಸಾಧ್ಯತೆಯಿದೆ ಅನಿಲ ನೈಟ್ರೋಜನ್, ನೈಟ್ರೈಡ್ ಮ್ಯಾಂಟಲ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಪದರವನ್ನು ಪಡೆಯಲು ಠೇವಣಿ. ಅಯಾನೀಕರಣದ. ಲೇಪನದ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ ಸುತ್ತಲಿನ ವಿದ್ಯುತ್ಕಾಂತೀಯ ಸುರುಳಿಯ ಪ್ರವಾಹವನ್ನು ಸಹ ಸರಿಹೊಂದಿಸಬೇಕು, ಕುಸಿತದ ಮಧ್ಯಭಾಗಕ್ಕೆ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಕಿರಣವನ್ನು ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸಿ, ಹೀಗಾಗಿ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಹರಿವಿನ ಶಕ್ತಿಯ ಸಾಂದ್ರತೆಯು ಹೆಚ್ಚಾಗುತ್ತದೆ.

9, ಪವರ್ ಆಫ್. ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪವು ಪೂರ್ವನಿರ್ಧರಿತ ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪವನ್ನು ತಲುಪಿದ ನಂತರ, ಆರ್ಕ್ ಪವರ್ ಸಪ್ಲೈ ಅನ್ನು ಆಫ್ ಮಾಡಿ, ಪಕ್ಷಪಾತ ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜು ಮತ್ತು ವಾಯು ಪೂರೈಕೆ.