ನಿರ್ವಾತ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆ ಲೇಪನದ ಫಿಲ್ಮ್ ಪದರದ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ನಿಯಮ

ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆಯ ಲೇಪನದ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಫಿಲ್ಮ್ ಪದರದ ನ್ಯೂಕ್ಲಿಯೇಶನ್ ಮತ್ತು ಬೆಳವಣಿಗೆಯು ವಿವಿಧ ಅಯಾನು ಲೇಪನ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಆಧಾರವಾಗಿದೆ.

1. ನ್ಯೂಕ್ಲಿಯೇಶನ್

Inನಿರ್ವಾತ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆ ಲೇಪನ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ, ಫಿಲ್ಮ್ ಪದರದ ಕಣಗಳು ಪರಮಾಣುಗಳ ರೂಪದಲ್ಲಿ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆಯ ಮೂಲದಿಂದ ಆವಿಯಾದ ನಂತರ, ಅವು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತದಲ್ಲಿ ನೇರವಾಗಿ ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ಗೆ ಹಾರುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ನ್ಯೂಕ್ಲಿಯೇಶನ್ ಮತ್ತು ಬೆಳವಣಿಗೆಯಿಂದ ಫಿಲ್ಮ್ ಪದರವನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತವೆ.ನಿರ್ವಾತ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆಯ ಮೂಲದಿಂದ ಹೊರಬರುವ ಫಿಲ್ಮ್ ಲೇಯರ್ ಪರಮಾಣುಗಳ ಶಕ್ತಿಯು ಸುಮಾರು 0.2eV ಆಗಿರುತ್ತದೆ.ಫಿಲ್ಮ್ ಪದರದ ಕಣಗಳ ನಡುವಿನ ಒಗ್ಗಟ್ಟು ಫಿಲ್ಮ್ ಲೇಯರ್ ಮತ್ತು ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ನ ಪರಮಾಣುಗಳ ನಡುವಿನ ಬಂಧದ ಬಲಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಾದಾಗ, ದ್ವೀಪ ನ್ಯೂಕ್ಲಿಯಸ್ ಅನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತದೆ.ಒಂದು ಫಿಲ್ಮ್ ಲೇಯರ್ ಪರಮಾಣುವು ಅನಿಯಮಿತ ಚಲನೆ, ಪ್ರಸರಣ, ವಲಸೆ ಅಥವಾ ಇತರ ಪರಮಾಣುಗಳೊಂದಿಗೆ ಘರ್ಷಣೆ ಮಾಡುವ ಸಮಯದವರೆಗೆ ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಪರಮಾಣು ಕ್ಲಸ್ಟರ್‌ಗಳನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ಪರಮಾಣು ಕ್ಲಸ್ಟರ್‌ನಲ್ಲಿರುವ ಪರಮಾಣುಗಳ ಸಂಖ್ಯೆಯು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಮೌಲ್ಯವನ್ನು ತಲುಪುತ್ತದೆ, ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ನ್ಯೂಕ್ಲಿಯಸ್ ರೂಪುಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ, ಇದನ್ನು ಏಕರೂಪದ ಆಕಾರದ ನ್ಯೂಕ್ಲಿಯಸ್ ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ.

ನಯವಾದ, ಮತ್ತು ಅನೇಕ ದೋಷಗಳು ಮತ್ತು ಹಂತಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ, ಇದು ವಿಕಿರಣಶೀಲ ಪರಮಾಣುಗಳಿಗೆ ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ನ ವಿವಿಧ ಭಾಗಗಳ ಹೊರಹೀರುವಿಕೆ ಬಲದಲ್ಲಿ ವ್ಯತ್ಯಾಸವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ.ದೋಷದ ಮೇಲ್ಮೈಯ ಹೊರಹೀರುವಿಕೆ ಶಕ್ತಿಯು ಸಾಮಾನ್ಯ ಮೇಲ್ಮೈಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ಇದು ಸಕ್ರಿಯ ಕೇಂದ್ರವಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಆದ್ಯತೆಯ ನ್ಯೂಕ್ಲಿಯೇಶನ್ಗೆ ಅನುಕೂಲಕರವಾಗಿದೆ, ಇದನ್ನು ಭಿನ್ನಜಾತಿಯ ನ್ಯೂಕ್ಲಿಯೇಶನ್ ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ.ಸಂಯೋಜಕ ಬಲವು ಬಂಧಿಸುವ ಬಲಕ್ಕೆ ಸಮಾನವಾದಾಗ ಅಥವಾ ಪೊರೆಯ ಪರಮಾಣುಗಳು ಮತ್ತು ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್ ನಡುವಿನ ಬಂಧಿಸುವ ಬಲವು ಪೊರೆಯ ಪರಮಾಣುಗಳ ನಡುವಿನ ಸಂಯೋಜಕ ಬಲಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿದ್ದರೆ, ಲ್ಯಾಮೆಲ್ಲರ್ ರಚನೆಯು ರೂಪುಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.ಅಯಾನು ಲೇಪನ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದಲ್ಲಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಂದರ್ಭಗಳಲ್ಲಿ ದ್ವೀಪದ ಕೋರ್ ರಚನೆಯಾಗುತ್ತದೆ.

2. ಬೆಳವಣಿಗೆ

ಚಿತ್ರದ ತಿರುಳು ರೂಪುಗೊಂಡ ನಂತರ, ಘಟನೆಯ ಪರಮಾಣುಗಳನ್ನು ಬಲೆಗೆ ಬೀಳಿಸುವ ಮೂಲಕ ಅದು ಬೆಳೆಯುವುದನ್ನು ಮುಂದುವರೆಸುತ್ತದೆ. ದ್ವೀಪಗಳು ಬೆಳೆಯುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ದೊಡ್ಡ ಅರ್ಧಗೋಳಗಳನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ಪರಸ್ಪರ ಒಗ್ಗೂಡಿ, ಕ್ರಮೇಣ ಅರ್ಧಗೋಳದ ದ್ವೀಪ ಪದರವನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತವೆ, ಅದು ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಹರಡುತ್ತದೆ.

ಫಿಲ್ಮ್ ಪದರದ ಪರಮಾಣು ಶಕ್ತಿಯು ಅಧಿಕವಾಗಿದ್ದಾಗ, ಅದು ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಸಾಕಷ್ಟು ಹರಡಬಹುದು ಮತ್ತು ನಂತರದ ಒಳಬರುವ ಪರಮಾಣು ಸಮೂಹಗಳು ಚಿಕ್ಕದಾಗಿದ್ದಾಗ ಮೃದುವಾದ ನಿರಂತರ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ರಚಿಸಬಹುದು. ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಪರಮಾಣುಗಳ ಪ್ರಸರಣವು ದುರ್ಬಲವಾಗಿದ್ದರೆ ಮತ್ತು ಗಾತ್ರ ಠೇವಣಿ ಮಾಡಿದ ಸಮೂಹಗಳು ದೊಡ್ಡದಾಗಿದೆ, ಅವು ದೊಡ್ಡ ಪೆನಿನ್ಸುಲರ್ ನ್ಯೂಕ್ಲಿಯಸ್ಗಳಾಗಿ ಅಸ್ತಿತ್ವದಲ್ಲಿವೆ. ದ್ವೀಪದ ಕೋರ್ನ ಮೇಲ್ಭಾಗವು ಕಾನ್ಕೇವ್ ಭಾಗದಲ್ಲಿ ಬಲವಾದ ಛಾಯೆಯ ಪರಿಣಾಮವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಅದು "ನೆರಳು ಪರಿಣಾಮ". ಮೇಲ್ಮೈಯ ಪ್ರಕ್ಷೇಪಣವು ನಂತರದ ಠೇವಣಿ ಪರಮಾಣುಗಳನ್ನು ಸೆರೆಹಿಡಿಯಲು ಹೆಚ್ಚು ಅನುಕೂಲಕರವಾಗಿದೆ. ಮತ್ತು ಪ್ರಾಶಸ್ತ್ಯದ ಬೆಳವಣಿಗೆ, ಇದರ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಸಾಕಷ್ಟು ಗಾತ್ರದ ಶಂಕುವಿನಾಕಾರದ ಅಥವಾ ಸ್ತಂಭಾಕಾರದ ಹರಳುಗಳನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚುತ್ತಿರುವ ಕಾನ್ಕಾವಿಟಿ.ಶಂಕುವಿನಾಕಾರದ ಸ್ಫಟಿಕಗಳ ನಡುವೆ ನುಗ್ಗುವ ಶೂನ್ಯಗಳು ರೂಪುಗೊಳ್ಳುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನದ ಮೌಲ್ಯವು ಹೆಚ್ಚಾಗುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತದಲ್ಲಿ ಸೂಕ್ಷ್ಮವಾದ ಅಂಗಾಂಶವನ್ನು ಪಡೆಯಬಹುದು, ನಿರ್ವಾತ ಪದವಿಯ ಇಳಿಕೆಯೊಂದಿಗೆ, ಪೊರೆಯ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ರಚನೆಯು ದಪ್ಪವಾಗಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ದಪ್ಪವಾಗುತ್ತದೆ.