ಕ್ಯಾಥೋಡಿಕ್ ಆರ್ಕ್ ಮೂಲ ಅಯಾನು ಲೇಪನದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಮೂಲಭೂತವಾಗಿ ಇತರ ಲೇಪನ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳಂತೆಯೇ ಇರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ಗಳನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸುವುದು ಮತ್ತು ನಿರ್ವಾತಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯಂತಹ ಕೆಲವು ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಳು ಇನ್ನು ಮುಂದೆ ಪುನರಾವರ್ತನೆಯಾಗುವುದಿಲ್ಲ.
1.ಬಾಂಬಾರ್ಡ್ಮೆಂಟ್ ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ಗಳ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ
ಲೇಪನ ಮಾಡುವ ಮೊದಲು, ಆರ್ಗಾನ್ ಅನಿಲವನ್ನು 2 × 10-2Pa ನಿರ್ವಾತದೊಂದಿಗೆ ಲೇಪನ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿ ಪರಿಚಯಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
20% ಡ್ಯೂಟಿ ಸೈಕಲ್ ಮತ್ತು 800-1000V ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್ ಪಕ್ಷಪಾತದೊಂದಿಗೆ ಪಲ್ಸ್ ಬಯಾಸ್ ವಿದ್ಯುತ್ ಪೂರೈಕೆಯನ್ನು ಆನ್ ಮಾಡಿ.
ಆರ್ಕ್ ಪವರ್ ಅನ್ನು ಆನ್ ಮಾಡಿದಾಗ, ಕೋಲ್ಡ್ ಫೀಲ್ಡ್ ಆರ್ಕ್ ಲೈಟ್ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಆರ್ಕ್ ಮೂಲದಿಂದ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಮಾಣದ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಕರೆಂಟ್ ಮತ್ತು ಟೈಟಾನಿಯಂ ಅಯಾನ್ ಕರೆಂಟ್ ಅನ್ನು ಹೊರಸೂಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾವನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತದೆ.ಟೈಟಾನಿಯಂ ಅಯಾನು ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ಗೆ ಋಣಾತ್ಮಕ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪಕ್ಷಪಾತದ ಒತ್ತಡದ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ಗೆ ಅದರ ಇಂಜೆಕ್ಷನ್ ಅನ್ನು ವೇಗಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ, ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವ ಉಳಿದ ಅನಿಲ ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳನ್ನು ಬಾಂಬ್ ಸ್ಫೋಟಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಚೆಲ್ಲುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಶುದ್ಧಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ;ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಲೇಪನ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿರುವ ಕ್ಲೋರಿನ್ ಅನಿಲವು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್‌ಗಳಿಂದ ಅಯಾನೀಕರಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ ಮತ್ತು ಆರ್ಗಾನ್ ಅಯಾನುಗಳು ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್ ಮೇಲ್ಮೈಯ ಬಾಂಬ್ ಸ್ಫೋಟವನ್ನು ವೇಗಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
ಆದ್ದರಿಂದ, ಬಾಂಬ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಪರಿಣಾಮವು ಉತ್ತಮವಾಗಿದೆ.ಕೇವಲ 1 ನಿಮಿಷದ ಬಾಂಬ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯು ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್ ಅನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಬಹುದು, ಇದನ್ನು "ಮುಖ್ಯ ಆರ್ಕ್ ಬಾಂಬ್ ಸ್ಫೋಟ" ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ.ಟೈಟಾನಿಯಂ ಅಯಾನುಗಳ ಹೆಚ್ಚಿನ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿಯ ಕಾರಣದಿಂದಾಗಿ, ಒಂದು ಸಣ್ಣ ಆರ್ಕ್ ಮೂಲವನ್ನು ಬಾಂಬ್ ಸ್ಫೋಟಿಸಲು ಮತ್ತು ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್ ಅನ್ನು ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಬಳಸಿದರೆ, ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ನ ಉಷ್ಣತೆಯು ಅಧಿಕ ತಾಪಕ್ಕೆ ಗುರಿಯಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಉಪಕರಣದ ಅಂಚು ಮೃದುವಾಗಬಹುದು.ಸಾಮಾನ್ಯ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ, ಸಣ್ಣ ಆರ್ಕ್ ಮೂಲಗಳನ್ನು ಮೇಲಿನಿಂದ ಕೆಳಕ್ಕೆ ಒಂದೊಂದಾಗಿ ಆನ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಪ್ರತಿ ಸಣ್ಣ ಆರ್ಕ್ ಮೂಲವು ಸುಮಾರು 1 ನಿಮಿಷದ ಬಾಂಬ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಸಮಯವನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ.
(1) ಕೋಟಿಂಗ್ ಟೈಟಾನಿಯಂ ಕೆಳಗಿನ ಪದರ
ಫಿಲ್ಮ್ ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರದ ನಡುವಿನ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು, ಟೈಟಾನಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಅನ್ನು ಲೇಪಿಸುವ ಮೊದಲು ಶುದ್ಧ ಟೈಟಾನಿಯಂ ತಲಾಧಾರದ ಪದರವನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಲೇಪಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.ನಿರ್ವಾತ ಮಟ್ಟವನ್ನು 5×10-2-3×10-1Pa ಗೆ ಹೊಂದಿಸಿ, ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್ ಬಯಾಸ್ ವೋಲ್ಟೇಜ್ ಅನ್ನು 400-500V ಗೆ ಹೊಂದಿಸಿ ಮತ್ತು ಪಲ್ಸ್ ಬಯಾಸ್ ವಿದ್ಯುತ್ ಪೂರೈಕೆಯ ಕರ್ತವ್ಯ ಚಕ್ರವನ್ನು 40%~50% ಗೆ ಹೊಂದಿಸಿ.ಕೋಲ್ಡ್ ಫೀಲ್ಡ್ ಆರ್ಸಿಂಗ್ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಅನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಲು ಇನ್ನೂ ಸಣ್ಣ ಆರ್ಕ್ ಮೂಲಗಳನ್ನು ಒಂದೊಂದಾಗಿ ಉರಿಯುತ್ತಿದೆ.ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ನ ಋಣಾತ್ಮಕ ಬಯಾಸ್ ವೋಲ್ಟೇಜ್‌ನಲ್ಲಿನ ಇಳಿಕೆಯಿಂದಾಗಿ, ಟೈಟಾನಿಯಂ ಅಯಾನುಗಳ ಶಕ್ತಿಯು ಕಡಿಮೆಯಾಗುತ್ತದೆ.ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್ ಅನ್ನು ತಲುಪಿದ ನಂತರ, ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಪರಿಣಾಮವು ಶೇಖರಣೆಯ ಪರಿಣಾಮಕ್ಕಿಂತ ಕಡಿಮೆಯಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಟೈಟಾನಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಹಾರ್ಡ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಪದರ ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರದ ನಡುವಿನ ಬಂಧದ ಬಲವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ನಲ್ಲಿ ಟೈಟಾನಿಯಂ ಪರಿವರ್ತನೆಯ ಪದರವು ರೂಪುಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್ ಅನ್ನು ಬಿಸಿ ಮಾಡುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಾಗಿದೆ.ಶುದ್ಧ ಟೈಟಾನಿಯಂ ಗುರಿಯನ್ನು ಹೊರಹಾಕಿದಾಗ, ಪ್ಲಾಸ್ಮಾದಲ್ಲಿನ ಬೆಳಕು ಆಕಾಶ ನೀಲಿ ಬಣ್ಣದ್ದಾಗಿದೆ.
1.ಅಮೋನಿಯೇಟೆಡ್ ಬೌಲ್ ಹಾರ್ಡ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಲೇಪನ
ನಿರ್ವಾತ ಪದವಿಯನ್ನು 3×10 ಗೆ ಹೊಂದಿಸಿ-1-5Pa, ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್ ಬಯಾಸ್ ವೋಲ್ಟೇಜ್ ಅನ್ನು 100-200V ಗೆ ಹೊಂದಿಸಿ ಮತ್ತು ಪಲ್ಸ್ ಬಯಾಸ್ ವಿದ್ಯುತ್ ಪೂರೈಕೆಯ ಕರ್ತವ್ಯ ಚಕ್ರವನ್ನು 70%~80% ಗೆ ಹೊಂದಿಸಿ.ಸಾರಜನಕವನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸಿದ ನಂತರ, ಟೈಟಾನಿಯಂ ಟೈಟಾನಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಹಾರ್ಡ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲು ಆರ್ಕ್ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾದೊಂದಿಗೆ ಸಂಯೋಜನೆಯ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯಾಗಿದೆ.ಈ ಹಂತದಲ್ಲಿ, ನಿರ್ವಾತ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿನ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾದ ಬೆಳಕು ಚೆರ್ರಿ ಕೆಂಪು ಬಣ್ಣದ್ದಾಗಿದೆ.ಒಂದು ವೇಳೆ ಸಿ2H2, ಒ2, ಇತ್ಯಾದಿಗಳನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸಲಾಗಿದೆ, TiCN, TiO2, ಇತ್ಯಾದಿ ಫಿಲ್ಮ್ ಪದರಗಳನ್ನು ಪಡೆಯಬಹುದು.
-ಈ ಲೇಖನವನ್ನು ಗುವಾಂಗ್‌ಡಾಂಗ್ ಝೆನ್ಹುವಾ ಬಿಡುಗಡೆ ಮಾಡಿದ್ದಾರೆ, ಎನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರ ತಯಾರಕ
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಜೂನ್-01-2023