GX600

이 장비는 수직 전면 도어 구조와 클러스터 레이아웃을 채택합니다.금속 및 각종 유기물 증착원을 장착할 수 있으며, 다양한 규격의 실리콘 웨이퍼를 증착할 수 있습니다.정밀 정렬 시스템을 갖추고 있어 코팅이 안정적이고 코팅의 반복성이 우수합니다.
GX600 코팅 장비는 기판에 유기 발광 재료 또는 금속 재료를 정확하고 고르게 제어 가능하게 증착할 수 있습니다.그것은 간단한 필름 형성, 고순도 및 높은 소형화의 장점을 가지고 있습니다.전자동 필름 두께 실시간 모니터링 시스템은 공정의 반복성과 안정성을 보장할 수 있습니다.작업자의 숙련도에 대한 의존도를 줄이기 위해 자체 용해 기능을 탑재하고 있습니다.
Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti 등 금속재료에 적용할 수 있는 장비로 금속막, 유전체막, IMD막 등을 코팅할 수 있어 주로 반도체에 사용된다. 전력소자, 반도체 후면 패키징 기판 코팅 등의 산업