코팅 라인은 공정 및 효율성 요구 사항에 따라 챔버를 늘릴 수 있는 모듈식 구조를 채택하고 양면에 코팅할 수 있어 유연하고 편리합니다.이온 세정 시스템, 급속 가열 시스템 및 DC 마그네트론 스퍼터링 시스템을 갖추고 있어 간단한 금속 코팅을 효율적으로 증착할 수 있습니다.이 장비는 빠른 비트, 편리한 클램핑 및 고효율을 제공합니다.
코팅 라인은 이온 세정 및 고온 베이킹 시스템을 갖추고 있어 증착된 필름의 접착력이 더 좋습니다.회전 타겟을 사용한 작은 각도 스퍼터링은 작은 구멍의 내부 표면에 필름을 증착하는 데 유리합니다.
1. 장비는 구조가 콤팩트하고 바닥 면적이 작습니다.
2. 진공 시스템에는 에너지 소비가 적은 공기 추출용 분자 펌프가 장착되어 있습니다.
3. 재료 랙의 자동 반환으로 인력이 절약됩니다.
4. 프로세스 매개변수를 추적할 수 있으며 전체 프로세스에서 생산 프로세스를 모니터링하여 생산 결함 추적을 용이하게 할 수 있습니다.
5. 코팅 라인은 자동화 수준이 높습니다.매니퓰레이터와 함께 사용하여 전면 및 후면 프로세스를 연결하고 인건비를 줄일 수 있습니다.
커패시터 제조 공정에서 은 페이스트 인쇄를 대체할 수 있으며 효율성은 높이고 비용은 낮춥니다.
Ti, Cu, Al, Cr, Ni, Ag, Sn 및 기타 단순 금속에 적용할 수 있습니다.세라믹 기판, 세라믹 커패시터, LED 세라믹 지지대 등과 같은 반도체 전자 부품에 널리 사용되었습니다.