HFCVD0606

화학 기상 증착 장비의 진공 코팅 챔버는 독립적인 이중 수냉 구조를 채택하여 냉각이 효율적이고 균일하며 안전하고 안정적인 구조를 가지고 있습니다.이 장비는 이중문, 다중 관찰 창 및 다중 확장 인터페이스로 설계되어 적외선 온도 측정, 스펙트럼 분석, 비디오 모니터링 및 열전대와 같은 보조 주변 장치의 외부 연결에 편리합니다.진보된 설계 개념은 장비의 일일 점검 및 유지 보수, 구성 변경 및 업그레이드를 쉽고 간단하게 만들고 사용 및 업그레이드 비용을 효과적으로 줄입니다.

장비 기능:

1. 장비의 인플레이션 구성 요소는 주로 질량 유량계, 솔레노이드 밸브 및 가스 혼합 탱크를 포함하여 공정 가스 흐름의 정확한 제어, 균일한 혼합 및 다른 가스의 안전한 격리를 보장하고 사용을 위한 가스 시스템 구성 요소를 선택할 수 있습니다. 액체 가스 소스, 광범위한 액체 탄소 소스의 개인화 선택 및 합성 전도성 다이아몬드 및 전극 액체 붕소 소스의 안전한 사용을 용이하게 합니다.
2. 공기 추출 어셈블리에는 조용하고 효율적인 로터리 베인 진공 펌프와 고진공 배경 환경을 신속하게 충족시킬 수 있는 터보 분자 펌프 시스템이 장착되어 있습니다.저항 게이지와 이온화 게이지가 있는 복합 진공 게이지는 진공 측정에 사용되며, 다양한 프로세스 가스의 압력을 광범위하게 측정할 수 있는 정전식 필름 게이지 시스템도 사용됩니다.증착 압력은 고정밀 비례 제어 밸브에 의해 전자동으로 제어됩니다.
3. 냉각수 구성 요소에는 다중 채널 수압, 흐름, 온도 측정 및 소프트웨어 자동 모니터링 기능이 있습니다.서로 다른 냉각 구성 요소는 서로 독립적이므로 빠른 오류 진단에 편리합니다.모든 분기에는 독립적인 밸브 스위치가 있어 안전하고 효율적입니다.
4. 전기 제어 구성 요소는 대형 인간-기계 인터페이스 LCD 화면을 채택하고 PLC 완전 자동 제어와 협력하여 프로세스 공식의 편집 및 가져오기를 용이하게 합니다.그래픽 곡선은 다양한 매개변수의 변화와 값을 시각적으로 표시하고 장비 및 프로세스 매개변수는 문제 추적 및 데이터 통계 분석을 용이하게 하기 위해 자동으로 기록되고 보관됩니다.
5. 공작물 랙에는 기판 테이블의 상승 및 하강을 제어하는 ​​서보 모터가 장착되어 있습니다.흑연 또는 적동 기판 테이블을 선택할 수 있습니다.온도는 열전대로 측정됩니다.
6. 랙 구성 요소는 고객의 특별한 취급 요구 사항을 충족시키기 위해 고객 요구 사항에 따라 전체적으로 또는 별도로 설계할 수 있습니다.
7. 실링 플레이트 구성 요소는 아름답고 우아합니다.장비의 다양한 기능 모듈 영역에 있는 실링 플레이트는 신속하게 분해하거나 독립적으로 열고 닫을 수 있어 사용이 매우 편리합니다.

핫 필라멘트 CVD 장비는 박막 코팅, 자체지지 후막, 미정질 및 나노 결정질 다이아몬드, 전도성 다이아몬드 등 다이아몬드 재료를 증착하는 데 적합합니다. 주로 초경합금 절삭 공구, 반도체 재료의 내마모성 보호 코팅에 사용됩니다. 실리콘 및 실리콘 카바이드, 장치의 방열 코팅, 붕소 도핑 전도성 다이아몬드 전극, 전해수의 오존 소독 또는 하수 처리.