이 장비는 마그네트론 스퍼터링 및 저항 증발 기술을 통합하고 다양한 기판을 코팅하기 위한 솔루션을 제공합니다.
실험 코팅 장비는 주로 대학 및 과학 연구 기관에서 사용되며 다양한 실험 요구 사항을 충족할 수 있습니다.장비를 위해 다양한 구조적 대상이 예약되어 있어 다양한 분야의 과학적 연구 및 개발을 충족하도록 유연하게 구성할 수 있습니다.마그네트론 스퍼터링 시스템, 음극 아크 시스템, 전자 빔 증발 시스템, 저항 증착 시스템, CVD, PECVD, 이온 소스, 바이어스 시스템, 가열 시스템, 3차원 고정 장치 등을 선택할 수 있습니다.고객은 다양한 요구 사항에 따라 선택할 수 있습니다.
이 장비는 아름다운 외관, 조밀한 구조, 작은 바닥 면적, 고도의 자동화, 간단하고 유연한 작동, 안정적인 성능 및 쉬운 유지 관리의 특성을 가지고 있습니다.
이 장비는 플라스틱, 스테인리스 스틸, 전기 도금 하드웨어/플라스틱 부품, 유리, 세라믹 및 기타 재료에 적용할 수 있습니다.티타늄, 크롬, 은, 구리, 알루미늄과 같은 단순한 금속층이나 TiN/TiCN/TiC/TiO2/TiAlN/CrN/ZrN/CrC와 같은 금속 화합물 필름을 준비할 수 있습니다.
ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
φ500*H600(mm) | φ600*H800(mm) | φ800*H1000(mm) |