1) 원통형 타겟은 평면 타겟보다 활용도가 높습니다.코팅 공정에 있어서 회전자석식이든 회전관식 원통형 스퍼터링 타겟이든 타겟관 표면의 모든 부분이 영구자석 앞에 생성된 스퍼터링 영역을 연속적으로 통과하여 캐소드 스퍼터링을 받고, 타겟은 균일하게 스퍼터링 에칭될 수 있으며 타겟 활용률이 높습니다.Target 소재의 활용률은 약 80%~90%입니다.
2) 원통형 표적은 "표적 중독"을 일으키기 쉽지 않습니다.코팅 공정 중에 타겟 튜브의 표면은 항상 스퍼터링되고 이온에 의해 에칭되며 표면에 두꺼운 산화물 및 기타 절연막이 축적되기 쉽지 않으며 "타깃 포독"이 발생하기 쉽지 않습니다.
3) 회전식 타겟 튜브형 원통형 스퍼터링 타겟의 구조가 간단하고 설치가 용이하다.
4) 원통형 타겟 튜브 재질은 다양한 종류가 있습니다.금속 타겟이 직접 수냉되는 평면 타겟, 일부는 In2-SnO2 타겟과 같은 원통형 타겟을 가공할 수 없으며 열간 정수압 압축을 위한 분말 재료로 성형하여 판형 타겟을 얻을 수 없습니다. 크기를 만들 수 없기 때문입니다. 크고 깨지기 쉽기 때문에 브레이징 방식과 구리 백플레이트를 사용하여 대상 베이스에 일체화한 후 설치해야 합니다.금속 파이프 외에도 Si, Cr 등 코팅이 필요한 다양한 재질의 스테인레스 스틸 파이프 표면에 원주형 타겟을 분사할 수 있습니다.
현재 산업 생산에서 코팅을 위한 원통형 타겟의 비율이 증가하고 있습니다.원통형 타겟은 수직 코팅기뿐만 아니라 롤투롤 코팅기에서도 사용됩니다.최근에는 평면 트윈 타겟이 점차 원통형 트윈 타겟으로 대체되고 있습니다.
——이 기사는 Guangdong Zhenhua Technology에서 발표했습니다.광학 코팅기 제조업체.
게시 시간: 2023년 5월 11일