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CVD 코팅 장비의 특징

기사 출처:Zhenhua 진공
읽기:10
게시됨:23-03-29

CVD 코팅 기술은 다음과 같은 특징이 있습니다.

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1. CVD 장비의 공정 작업은 비교적 간단하고 유연하며 비율이 다른 단일 또는 복합 필름 및 합금 필름을 준비할 수 있습니다.

2. CVD 코팅은 광범위한 응용 분야를 가지고 있으며 다양한 금속 또는 금속 필름 코팅을 준비하는 데 사용할 수 있습니다.

3. 분당 수 미크론에서 수백 미크론 범위의 증착 속도로 인한 높은 생산 효율성;

4. PVD 방법과 비교하여 CVD는 회절 성능이 더 우수하며 홈, 코팅된 구멍 및 막힌 구멍 구조와 같은 복잡한 모양의 기판을 코팅하는 데 매우 적합합니다.코팅은 우수한 조밀성을 가진 필름으로 도금될 수 있습니다.필름 형성 공정 중 높은 온도와 필름 기판 계면의 강한 접착력으로 인해 필름 층이 매우 견고합니다.

5. 방사선으로 인한 손상이 상대적으로 적고 MOS 집적 회로 공정과 통합될 수 있습니다.

——이 기사는 Guangdong Zhenhua에서 발행한 것입니다.진공 코팅기 제조업체


게시 시간: 2023년 3월 29일