부터진공 코팅 장비진공 상태에서 작동하려면 장비가 환경에 대한 진공 요구 사항을 충족해야 합니다.우리나라에서 공식화 된 다양한 유형의 진공 코팅 장비에 대한 산업 표준 (진공 코팅 장비, 진공 이온 코팅 장비, 진공 스퍼터링 코팅 장비 및 진공 증발 코팅 장비에 대한 일반 기술 조건 포함)에는 환경 요구 사항이 명확하게 규정되어 있습니다.진공 코팅 장비의 환경 요구 사항을 충족해야만 장비가 정상적으로 작동할 수 있으며 올바른 코팅 프로세스를 통해 자격을 갖춘 코팅 제품을 생산할 수 있습니다.
진공 환경의 요구 사항은 일반적으로 실험실(또는 작업장)의 온도, 대기 중 빈약한 이익, 진공 상태 또는 진공 상태의 부품 또는 표면에 대한 요구 사항과 같은 주변 환경에 대한 진공 장비의 요구 사항을 포함합니다. 진공.이 두 가지 측면은 밀접하게 관련되어 있습니다.주변 환경의 질은 진공 장비의 정상적인 사용에 직접적인 영향을 미치며 진공 장비의 진공 챔버 또는 그 안에 적재된 부품의 청소 여부는 장비의 성능에 직접적인 영향을 미칩니다.공기에 수증기와 먼지가 많이 포함되어 있고 진공 챔버가 청소되지 않은 경우 오일 밀봉된 기계식 펌프를 사용하여 공기를 펌핑하여 원하는 진공도를 달성하기 어렵습니다.우리 모두가 알고 있듯이 오일 밀봉 기계식 펌프는 금속을 부식시키고 진공 오일에 화학적으로 반응하며 미립자 먼지를 포함하는 가스를 펌핑하는 데 적합하지 않습니다.수증기는 응축 가능한 가스입니다.펌프가 다량의 응축성 가스를 펌핑하면 펌프 오일의 오염이 더욱 심각해집니다.그 결과 펌프의 최종 진공도가 떨어지고 펌프의 펌핑 성능이 저하됩니다.
진공 코팅 장비의 정상적인 작업 조건은 다음과 같습니다.
① 주위온도 10~30℃
② 상대습도가 70% 이하일 것
③ 냉각수 입구 온도는 25°C 이하입니다.
④ 냉각수 수질 시 수돗물 또는 이와 동등한 수질의 물
⑤ 전원 전압: 380V, 삼상 50Hz 또는 220V, 단상 50Hz(사용하는 전기 제품의 필요에 따라 다름), 전압 변동 범위 342~399V 또는 198~231V, 주파수 변동 범위 49~51Hz
⑥압력, 온도 및 소비량은 제품 사용 설명서에 명시해야 합니다.
⑦ 설비주위의 환경은 깨끗하고 공기는 깨끗하며 전기기구 및 기타 금속부품의 표면부식을 일으키거나 금속간의 전기전도를 일으킬 수 있는 먼지나 가스가 없을 것.
또한 진공 코팅 장비가 있는 실험실이나 작업장은 깨끗하고 위생적으로 유지되어야 합니다.바닥은 먼지가 없는 테라초 또는 나무로 칠한 바닥입니다.기계식 펌프에서 배출되는 가스가 실험실 환경을 오염시키는 것을 방지하기 위해 펌프의 배기구에 사용할 수 있습니다.가스를 외부로 배출하기 위해 표면에 배기관(금속, 고무관)을 설치한다.
게시 시간: 2023년 3월 17일