진공 증착 도금의 성능에 영향을 미치는 요인

1. 증발 속도는 증발 코팅의 특성에 영향을 미칩니다.

증발 속도는 증착된 필름에 큰 영향을 미칩니다.낮은 증착 속도로 형성된 코팅 구조는 느슨하고 큰 입자 증착을 생성하기 쉽기 때문에 코팅 구조의 치밀성을 보장하기 위해 더 높은 증발 속도를 선택하는 것이 매우 안전합니다.진공 챔버 내의 잔류 기체의 압력이 일정할 때, 기판의 충격률은 일정한 값이다.따라서 높은 증착 속도를 선택한 후 증착된 필름에 포함된 잔류 가스가 줄어들어 잔류 가스 분자와 증발된 필름 입자 사이의 화학 반응이 감소합니다.따라서 증착막의 순도를 향상시킬 수 있다.증착 속도가 너무 빠르면 필름의 내부 응력이 증가하고 필름의 결함이 증가하며 심지어 필름이 파열될 수 있음을 유의해야 합니다.특히, 반응성 증착 도금 공정에서는 반응 가스가 증착막 소재의 입자와 충분히 반응하도록 하기 위해 보다 낮은 증착률을 선택할 수 있다.물론 다른 재료는 다른 증발 속도를 선택합니다.실제적인 예로 반사 필름의 증착, 필름 두께가 600×10-8cm이고 증발 시간이 3초인 경우 반사율은 93%입니다.그러나 동일한 두께 조건에서 증발 속도를 늦추면 성막 완료까지 10분이 소요된다.이때 막두께는 동일하다.그러나 반사율은 68%로 떨어졌습니다.

2. 기판 온도는 증발 코팅에 영향을 미칩니다.

기판 온도는 증발 코팅에 큰 영향을 미칩니다.높은 기판 온도에서 기판 표면에 흡착된 잔류 가스 분자는 쉽게 제거됩니다.특히 수증기 분자의 제거가 더 중요합니다.더욱이 고온에서는 물리적 흡착에서 화학적 흡착으로의 변환을 촉진하기가 쉬울 뿐만 아니라 입자 간의 결합력을 증가시킵니다.또한 증기 분자의 재결정 온도와 기판 온도 사이의 차이를 줄여 필름 기반 인터페이스의 내부 응력을 줄이거나 없앨 수 있습니다.또한 기판 온도는 필름의 결정 상태와 관련이 있기 때문에 기판 온도가 낮거나 가열하지 않는 조건에서 비정질 또는 미정질 코팅을 형성하기 쉬운 경우가 많습니다.반대로 온도가 높으면 결정성 피막이 형성되기 쉽다.기판 온도를 높이는 것은 코팅의 기계적 특성을 개선하는 데에도 도움이 됩니다.물론, 기판 온도는 코팅의 증발을 방지하기 위해 너무 높지 않아야 합니다.

3. 진공 챔버의 잔류 가스 압력은 필름 특성에 영향을 미칩니다.

진공 챔버의 잔류 가스 압력은 멤브레인의 성능에 큰 영향을 미칩니다.압력이 너무 높은 잔류 가스 분자는 증발 입자와 충돌하기 쉬울 뿐만 아니라 기판에 있는 사람의 운동 에너지를 감소시키고 필름의 접착력에 영향을 미칩니다.또한 잔류 가스 압력이 너무 높으면 필름의 순도에 심각한 영향을 미치고 코팅 성능이 저하됩니다.

4. 증발 코팅에 대한 증발 온도 영향

멤브레인 성능에 대한 증발 온도의 영향은 온도에 따른 증발 속도의 변화로 나타납니다.증발 온도가 높으면 증발열이 감소합니다.멤브레인 소재가 증발 온도 이상에서 증발하면 약간의 온도 변화만으로도 멤브레인 소재의 증발 속도가 급격히 변할 수 있습니다.따라서 증발원이 가열될 때 큰 온도 구배를 피하기 위해 필름 증착 중에 증발 온도를 정확하게 제어하는 ​​것이 매우 중요합니다.승화하기 쉬운 필름 재료의 경우, 재료 자체를 히터로 선택하여 증발 및 기타 조치를 취하는 것도 매우 중요합니다.

5. 기판 및 코팅 챔버의 세척 상태가 코팅 성능에 영향을 미칩니다.

기판 및 코팅 챔버의 청결도가 코팅 성능에 미치는 영향은 무시할 수 없습니다.그것은 증착된 필름의 순도에 심각한 영향을 미칠 뿐만 아니라 필름의 접착력을 감소시킵니다.따라서 기판의 정화, 진공 코팅 챔버 및 관련 부품(기판 프레임 등)의 세정 처리 및 표면 가스 제거는 모두 진공 코팅 공정에서 필수적인 공정입니다.