핫 와이어 아크 강화 플라즈마 화학 기상 증착 기술은 핫 와이어 아크 PECVD 기술로 약칭되는 아크 플라즈마를 방출하기 위해 핫 와이어 아크 건을 사용합니다.이 기술은 열선아크건 이온코팅 기술과 유사하나 차이점은 열선아크건 이온코팅으로 얻은 고체피막이 열선아크건에서 방출되는 아크광 전자류를 이용하여 금속을 가열 증발시켜 열선 아크 라이트 PECVD에는 다이아몬드 필름 증착에 사용되는 CH4 및 H2와 같은 반응 가스가 공급됩니다.열선 아크 건에서 방출되는 고밀도 아크 방전 전류에 의존하여 반응성 가스 이온이 여기되어 가스 이온, 원자 이온, 활성 그룹 등 다양한 활성 입자를 얻습니다.
열선아크 PECVD 장치에서는 여전히 코팅실 외부에 2개의 전자기 코일이 설치되어 있어 양극으로 이동하는 동안 고밀도 전자 흐름이 회전하게 하여 전자 흐름과 반응 가스 사이의 충돌 및 이온화 확률을 높입니다. .전자기 코일은 또한 전체 증착 챔버의 플라즈마 밀도를 증가시키기 위해 아크 컬럼으로 수렴할 수 있습니다.아크 플라즈마에서는 이러한 활성 입자의 밀도가 높아 공작물에 다이아몬드 필름 및 기타 필름 층을 더 쉽게 증착할 수 있습니다.
——이 기사는 Guangdong Zhenhua Technology에서 발표했습니다.광학 코팅기 제조업체.
게시 시간: May-05-2023