플라즈마 직접 중합 공정

플라즈마 직접 중합 공정

플라즈마 중합 공정은 내부 전극 중합 장비와 외부 전극 중합 장비 모두 비교적 간단하지만, 플라즈마 중합에서는 파라미터가 플라즈마 중합 시 폴리머 필름의 구조와 성능에 더 큰 영향을 미치기 때문에 파라미터 선택이 더 중요합니다.

직접 플라즈마 중합의 작동 단계는 다음과 같습니다.

(1) 진공청소기

진공 상태에서 중합의 배경 진공은 1.3×10-1Pa로 펌핑되어야 합니다.산소 또는 질소 함량을 제어하기 위한 특별한 요구 사항이 필요한 중합 반응의 경우 배경 진공 요구 사항이 훨씬 더 높습니다.

(2) 전하 반응 모노머 또는 캐리어 가스와 모노머의 혼합 가스

진공도는 13-130Pa입니다.작업이 필요한 Plasma 중합의 경우 적절한 흐름 제어 모드와 유속을 선택해야 하며 일반적으로 10.100mL/min입니다.플라즈마에서 모노머 분자는 에너지 입자의 충격에 의해 이온화 및 해리되어 이온 및 활성 유전자와 같은 활성 입자를 생성합니다.플라즈마에 의해 활성화된 활성 입자는 기체상과 고체상의 계면에서 플라즈마 중합을 겪을 수 있습니다.모노머는 플라즈마 중합의 전구체 소스이며 입력 반응 가스와 모노머는 일정한 순도를 가져야 합니다.

(3) 여자 전원의 선정

플라즈마는 중합을 위한 플라즈마 환경을 제공하기 위해 DC, 고주파, RF 또는 마이크로웨이브 전원을 사용하여 생성될 수 있습니다.전원 공급 장치의 선택은 폴리머의 구조 및 성능에 대한 요구 사항에 따라 결정됩니다.

(4) 방전모드 선택

폴리머 요구 사항의 경우 플라즈마 중합은 연속 방전 또는 펄스 방전의 두 가지 방전 모드를 선택할 수 있습니다.

(5) 방전 매개변수의 선택

플라즈마 중합을 수행할 때 방전 매개변수는 플라즈마 매개변수, 폴리머 특성 및 구조 요구 사항에서 고려해야 합니다.중합 동안 가해지는 힘의 크기는 진공 챔버의 부피, 전극 크기, 모노머 유속 및 구조, 중합 속도, 폴리머 구조 및 성능에 의해 결정됩니다.예를 들어, 반응 챔버 부피가 1L이고 RF 플라즈마 중합이 채택되면 방전 전력은 10~30W 범위가 됩니다.이러한 조건에서 생성된 플라즈마는 가공물 표면에 응집되어 박막을 형성할 수 있습니다.플라즈마 중합 필름의 성장 속도는 전원 공급 장치, 모노머 유형 및 유속, 공정 조건에 따라 다릅니다.일반적으로 성장률은 100nm/min~1um/min입니다.

(6) 플라즈마 중합에서의 파라미터 측정

플라즈마 중합에서 측정할 플라즈마 매개변수 및 프로세스 매개변수에는 방전 전압, 방전 전류, 방전 주파수, 전자 온도, 밀도, 반응 그룹 유형 및 농도 등이 포함됩니다.

——이 기사는 Guangdong Zhenhua Technology에서 발표했습니다.광학 코팅기 제조업체.