할로우 캐소드 이온 코팅 공정은 다음과 같습니다.
1. 친 주괴를 붕괴에 넣습니다.
2, 공작물 장착.
3、5×10-3Pa로 배기한 후 아르곤 가스를 은관에서 코팅 챔버로 도입하고 진공 수준은 약 100Pa입니다.
4、바이어스 전원을 켭니다.
5, 중공 음극 방전을 점화하기 위해 아크 전원을 켠 후 버튼 튜브에서 글로우 방전이 발생하고 방전 전압은 800 ~ 1000V이며 아크 상승 전류는 30 ~ 50A입니다. 글로우의 중공 음극 효과로 인해 방전, 높은 글로우 방전 전류 밀도, 실버 튜브의 쥐 이온의 고밀도가 유리한 튜브의 벽을 폭격하고 튜브 벽을 전자 흐름의 방출까지 빠르게 따뜻하게 만들고 글로우 방전 급격한 변화에서 방전 모드를 아크 방전, 전압은 40 ~ 70V, 전류는 80 ~ 300A입니다. 실버 튜브 온도는 2300K 이상에 도달하고 백열등은 튜브에서 아크 전자의 고밀도 스트림을 방출하고 양극으로 발사됩니다.
6, 진공 수준 조정. 중공 음극 총에서 글로우 방전 진공 수준은 약 100 Pa이고 코팅 진공도는 8×10-1~2Pa입니다. 따라서 아크 방전 점화 후 들어오는 아르곤을 줄입니다. 가능한 한 빨리 가스, 코팅에 적합한 범위로 진공 수준을 조정하십시오.
7, 티타늄 도금 베이스 레이어. 양극으로 붕괴된 Chin 금속 잉곳으로 전자 흐름, 운동 에너지를 열 에너지로 변환, 가열에 의한 Chin 금속 증발, 증기 원자가 공작물에 도달하여 티타늄 필름을 형성합니다.
8, TiN의 증착. 질소 가스가 코팅 챔버에 공급되고, 질소 가스와 증발된 원자가 질소와 티타늄 이온으로 이온화됩니다. 금속 해리율은 20%~40%로 높습니다. 티타늄 이온은 반응 가스 질소와 화학적으로 반응할 가능성이 더 높습니다. 질화물 맨틀 필름 층을 얻기 위한 증착. 코팅하는 동안 도가니 주변의 전자기 코일의 전류도 조정해야 하며 전자빔을 붕괴의 중심에 집중시켜 전자 흐름의 전력 밀도를 증가시킵니다.
9, 전원을 끕니다. 필름 두께가 미리 결정된 필름 두께에 도달한 후 아크 전원 공급 장치, 바이어스 전원 공급 장치 및 공기 공급 장치를 끕니다.
게시 시간: 2023년 7월 8일