음극 아크 소스 이온 코팅 공정은 기본적으로 다른 코팅 기술과 동일하며 공작물 설치 및 진공 청소와 같은 일부 작업은 더 이상 반복되지 않습니다.
1. 작업물의 폭격 청소
코팅하기 전에 아르곤 가스를 2×10-2Pa의 진공으로 코팅 챔버에 주입합니다.
듀티 사이클이 20%이고 공작물 바이어스가 800-1000V인 펄스 바이어스 전원 공급 장치를 켭니다.
아크 전원을 켜면 콜드 필드 아크 광 방전이 발생하여 아크 소스에서 많은 양의 전자 전류와 티타늄 이온 전류를 방출하여 고밀도 플라즈마를 형성합니다.티타늄 이온은 공작물에 적용된 음의 높은 바이어스 압력 하에서 공작물에 주입을 가속화하고 공작물 표면에 흡착된 잔류 가스 및 오염 물질을 충격 및 스퍼터링하고 공작물의 표면을 청소 및 정화합니다.동시에 코팅 챔버의 염소 가스는 전자에 의해 이온화되고 아르곤 이온은 공작물 표면의 충격을 가속화합니다.
따라서 포격 청소 효과가 좋습니다.1분 정도의 포격 청소만으로 공작물을 청소할 수 있으며, 이를 "메인 아크 포격"이라고 합니다.티타늄 이온의 질량이 높기 때문에 작은 아크 소스를 사용하여 공작물을 너무 오래 폭격하고 청소하면 공작물의 온도가 과열되기 쉽고 공구 가장자리가 부드러워질 수 있습니다.일반적인 생산에서 소형 아크 소스는 위에서 아래로 하나씩 켜지며 각 소형 아크 소스는 약 1분의 포격 청소 시간을 갖는다.
(1) 코팅 티타늄 바닥층
필름과 기판 사이의 접착력을 향상시키기 위해 질화 티타늄을 코팅하기 전에 일반적으로 순수 티타늄 기판 층을 코팅합니다.진공 수준을 5×10-2-3×10-1Pa로 조정하고 공작물 바이어스 전압을 400-500V로 조정하고 펄스 바이어스 전원 공급 장치의 듀티 사이클을 40%~50%로 조정합니다.콜드 필드 아크 방전을 생성하기 위해 작은 아크 소스를 하나씩 계속 점화합니다.공작물의 음의 바이어스 전압 감소로 인해 티타늄 이온의 에너지가 감소합니다.공작물에 도달한 후 스퍼터링 효과가 증착 효과보다 적고 티타늄 전이층이 공작물에 형성되어 질화 티타늄 경질막층과 기판 사이의 결합력을 향상시킵니다.이 과정은 공작물을 가열하는 과정이기도 합니다.순수한 티타늄 타겟이 방전되면 플라즈마의 빛은 하늘색입니다.
1. 암모니아 보울 경질 필름 코팅
진공도를 3×10로 조정-1-5Pa, 공작물 바이어스 전압을 100-200V로 조정하고 펄스 바이어스 전원 공급 장치의 듀티 사이클을 70%~80%로 조정합니다.질소가 도입된 후, 티타늄은 아크 방전 플라즈마와 결합 반응하여 티타늄 질화물 경질막을 증착한다.이 시점에서 진공 챔버의 플라즈마 빛은 체리 레드입니다.만약 C2H2, 오2등을 도입, TiCN, TiO2등 필름 층을 얻을 수 있습니다.
–이 기사는 광동 Zhenhua,진공 코팅기 제조업체
게시 시간: 2023년 6월 1일