그만큼진공 코팅 장비용접, 연삭, 터닝, 대패질, 보링, 밀링 등 많은 공정을 거쳐 만들어지는 수많은 정밀 부품들로 구성되어 있습니다.이러한 작업으로 인해 장비 부품의 표면은 필연적으로 그리스, 기름 먼지, 금속 칩, 용접 플럭스, 연마 페이스트, 땀 자국 등과 같은 일부 오염 물질로 오염됩니다.이러한 오염 물질은 진공 상태에서 쉽게 휘발되므로 장비의 최종 진공도에 영향을 미칩니다.
또한 이러한 기계가공에 의한 진공오염물질은 대기압 환경에서 많은 양의 가스를 흡수하게 되며, 진공상태에서는 이전에 흡착되었던 이러한 가스도 다시 방출되어 한계진공을 제한하는 주요한 요인이 된다.이러한 이유로 진공 코팅기의 부품을 조립하기 전에 오염 물질을 제거해야 합니다.
진공 장비를 사용하는 동안 그 구성 요소도 오염됩니다.그러나 이 오염원의 오염은 주로 사용 조건과 진공 펌프에 의해 발생합니다.
1. 고온 조건에서 진공 게이지의 필라멘트가 증발하면 세라믹 절연체에 필름이 형성되어 절연 강도가 어느 정도 손상되고 정확성에 일정한 영향을 미칩니다. 측정;
2. 고온 증발로 인해 진공 상태에서 전자총 필라멘트 근처의 표면에 금속막이 형성됩니다.
3. 공작물 스퍼터링으로 인해 이온빔 에칭 장비의 내벽이 스플래시로 오염됩니다.
4. 진공 증발 코팅 장비의 내벽은 증발 대상 물질에 의해 오염됩니다.
5. 진공 건조 시스템이 자주 사용되며 시스템은 증발 물질에 의해 오염됩니다.
6. 진공 코팅 장비의 확산 펌프 오일과 기계식 펌프 오일도 주요 오염원입니다.코팅기가 장시간 작동한 후에는 장비 내부에 유막이 형성될 수 있습니다.
요약하면 장비의 진공 위생에는 진공 장비, 진공 시스템, 진공 공정 생산 및 기타 측면과 링크가 포함되며 진공 코팅 장비 자체의 요구 사항과 사용 조건에 대한 특수 진공 공정이 포함됩니다.따라서 진공 오염은 장비의 성능에 영향을 미치기 때문에 주의를 기울여야 할 문제이며, 정기적 또는 수시로 청소에 주의를 기울여야 합니다.
게시 시간: 2023년 2월 21일