그만큼진공 코팅기계 공정은 진공 증착 코팅, 진공 스퍼터링 코팅 및 진공 이온 코팅으로 구분됩니다.
1, 진공 증발 코팅
진공 상태에서 금속, 금속 합금 등과 같은 재료를 증발시킨 다음 기판 표면에 증착합니다. 증발 코팅 방법은 종종 저항 가열을 사용한 다음 코팅 재료의 전자빔 충격으로 만듭니다. 기체 상태로 증발한 다음 기판 표면에 증착합니다. 역사적으로 진공 증착은 PVD 방법에서 사용되는 초기 기술입니다.
2, 스퍼터링 코팅
가스는 (Ar)이 채워진 진공 조건 하에서 글로우 방전을 겪습니다. 이때 아르곤(Ar) 원자는 질소 이온(Ar)으로 이온화되고, 이온은 전기장의 힘에 의해 가속되어 캐소드 타겟에 충돌합니다. 코팅 재료로 만들어지면 타겟이 스퍼터링되어 기판 표면에 증착됩니다. 일반적으로 글로우 방전에 의해 얻어지는 스퍼터링 코팅의 입사 이온은 10-2pa ~ 10Pa 범위에 있으므로 스퍼터링 된 입자는 충돌하기 쉽습니다. 기판쪽으로 날아갈 때 진공 챔버의 가스 분자와 함께 이동 방향이 무작위적이고 증착된 필름이 균일해지기 쉽습니다.
3, 이온 코팅
진공 조건 하에서, 진공 조건 하에서, 코팅 재료 원자를 이온으로 부분적으로 이온화하기 위해 특정 플라즈마 이온화 기술을 사용했습니다. 동시에 많은 고에너지 중성 원자가 생성되어 기판에 음으로 편향됩니다. 깊은 네거티브 바이어스 하에서 기판 표면에 증착되어 박막을 형성합니다.
게시 시간: 2023년 3월 23일