저항 증착원 코팅은 기본적인 진공 증착 코팅 방법입니다."증발"은 진공챔버내의 코팅물질을 가열하여 증발시켜 물질의 원자 또는 분자가 기화되어 표면에서 빠져나와 증기류 현상을 형성하여 표면에 입사되는 박막제조방법을 말한다. 기판 또는 기판, 그리고 최종적으로 고체 필름을 형성하기 위해 응축됩니다.
소위 저항 증발 소스 코팅 방법은 탄탈륨, 몰리브덴, 텅스텐 및 기타 고 융점 금속을 사용하여 증발 할 재료가 적재 된 증발 소스의 적절한 모양을 만들고 공기가 흐르게하고 직접 가열하고 증발된 물질을 증발시키거나 증발할 물질을 알루미나, 산화 베릴륨 및 기타 도가니에 넣어 간접 가열 및 증발시킵니다.이것은 저항 가열 증발 방법입니다.
그만큼진공 증발 코팅기저항 히터에 의해 가열 및 증발되는 것은 구조가 간단하고 비용이 저렴하며 안정적으로 사용할 수 있다는 장점이 있습니다.융점이 낮은 재료의 증발 코팅, 특히 코팅 품질에 대한 요구 사항이 낮은 대량 생산에 사용할 수 있습니다.지금까지 알루미늄 미러 생산에 사용되는 저항 가열 및 증발 코팅 공정이 여전히 많이 있습니다.
저항증발원 증착코팅 방식의 단점은 가열에 의해 도달할 수 있는 최대온도가 제한되고 히터의 수명도 짧다는 점이다.최근 몇 년 동안 저항 증발원의 수명을 향상시키기 위해 장비 공장은 수명이 긴 질화 붕소로 합성된 전도성 세라믹 재료를 증발원으로 채택했습니다.일본 특허 보고서에 따르면 20%~30% 질화붕소로 구성된 재료와 이를 융합할 수 있는 내화 재료를 사용하여 증발원(도가니)을 만들고 표면을 62% 함유 지르코늄 층으로 코팅할 수 있습니다. ~82%, 나머지는 지르코늄-실리콘 합금 소재입니다.
게시 시간: 2023년 4월 22일