장비는 주로 화학 기상 증착을 채택하여 빠른 증착 속도와 높은 막 품질의 특성을 가진 산화막을 준비합니다.장비 구조는 더블 도어 구조를 사용하여 클램핑 효율을 높이고 최신 액체 가스 공급 시스템을 채택하여 안정적이고 제어 가능한 흐름을 보장하고 공정 안정성을 효과적으로 보장합니다.장비에 의해 준비된 필름은 수증기 장벽이 우수하고 비등 시험에서 더 긴 안정 기간을 갖습니다.
이 장비는 스테인레스 스틸, 전기 도금된 하드웨어/플라스틱 부품, 유리, 세라믹 및 전자 제품, LED 조명 구슬, 의료 용품 및 내산화성이 필요한 기타 제품과 같은 기타 재료에 적용할 수 있습니다.SiOx 배리어 필름은 주로 수증기를 효과적으로 차단하고 부식 및 산화를 방지하며 제품 수명을 향상시키기 위해 준비됩니다.
옵션 모델 | 내부 챔버 크기 |
ZHCVD1200 | φ1200*H1950(mm) |