유형 | 이름 | 원칙 | 작동 압력 범위 |
기계식 펌프 | 단일 기계 오일 시일 기계식 펌프 | 기계에 의한 가스 압축 및 수축 | 105--101 |
이중 기계 오일 시일 기계식 펌프 | 105--102 | ||
분자 펌프 | 101--108 | ||
루츠 펌프 | 103--102 | ||
증기 분사 펌프 | 오일 주입 펌프 | 스팀 제트의 추진력으로 가스를 제거 | 101--107 |
오일 확산 펌프 | 101--106 | ||
수은 확산 펌프 | 101--105 | ||
드라이 펌프 | 스퍼터링 이온 펌프 | 승화 또는 스퍼터링에 의해 형성된 흡수성 필름에 의한 가스의 흡수 및 제거 | 101--108 |
티타늄 승화 펌프 | 101--109 | ||
흡착 펌프 | 저온 표면의 물리적 흡착에 의한 가스 제거 | 106--102 | |
응축수 펌프 | 102--1011 | ||
응축수 흡착 펌프 | 102--1010 |
게시 시간: 2022년 11월 08일