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메인 진공 펌프 수축 원리 및 작동 범위

기사 출처:Zhenhua 진공
읽기:10
게시됨:22-11-08

유형

이름

원칙

작동 압력 범위

기계식 펌프

단일 기계 오일 시일 기계식 펌프 기계에 의한 가스 압축 및 수축 105--101
이중 기계 오일 시일 기계식 펌프 105--102
분자 펌프 101--108
루츠 펌프 103--102

증기 분사 펌프

오일 주입 펌프 스팀 제트의 추진력으로 가스를 제거 101--107
오일 확산 펌프 101--106
수은 확산 펌프 101--105

드라이 펌프

스퍼터링 이온 펌프 승화 또는 스퍼터링에 의해 형성된 흡수성 필름에 의한 가스의 흡수 및 제거 101--108
티타늄 승화 펌프 101--109
흡착 펌프 저온 표면의 물리적 흡착에 의한 가스 제거 106--102
응축수 펌프 102--1011
응축수 흡착 펌프 102--1010

게시 시간: 2022년 11월 08일