Amûr strukturên deriyê pêşiyê yên vertîkal û sêwirana komê qebûl dikin.Ew dikare bi çavkaniyên evaporasyonê yên ji bo metal û materyalên organîk ên cihêreng ve were saz kirin, û dikare waferên silicon ên taybetmendiyên cihêreng vemirîne.Bi pergala hevrêziya rastîn ve hatî peyda kirin, cilê stabîl e û pêlav xwedan dubarebûnek baş e.
Amûrên nixumandina GX600 dikarin bi rast, yeksan û bi rêkûpêk materyalên organîk ên ronahiyê an jî materyalên metal li ser substratê bihelînin.Ew avantajên avakirina fîlimê ya hêsan, paqijiya bilind û tevliheviya bilind heye.Pergala şopandina rast-dema qalindahiya fîlimê ya tev-otomatîk dikare dubarebûn û aramiya pêvajoyê misoger bike.Ew bi fonksiyona xweya helandinê ve tê stend ku girêdayîbûna bi jêhatîyên operator kêm bike.
Amûr dikare li ser Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti û materyalên metal ên din were sepandin, û dikare bi fîlima metal, fîlima qata dielektrîkê, fîlimê IMD, hwd were pêçandin. pîşesazî, wek cîhazên hêzê, pêlava substratê ya pakkirina paşîn a nîvconductor, hwd.
GX600 | GX900 |
φ600*800(mm) | φ900*H1050(mm) |