HFCVD0606

Odeya nixumandina valahiya amêrên depokirina buhara kîmyewî avahiyek sarbûna avê ya du-tebeqeya serbixwe qebûl dike, ku di sarbûnê de bikêrhatî û yekreng e, û xwedan avahiyek ewledar û aram e.Amûr bi deriyên ducar, paceyên çavdêriyê yên pirjimar û pêvekên berfirehkirinê yên pirjimar têne sêwirandin, ku ji bo pêwendiya derveyî ya dorhêlên alîkar ên wekî pîvana germahiya infrared, analîza spektral, çavdêriya vîdyoyê û termocoupê hêsan e.Konsepta sêwirana pêşkeftî nûvekirin û domandina rojane, guheztina mîheng û nûvekirina alavan hêsan û hêsan dike, û bi bandor lêçûn û lêçûnên nûvekirinê kêm dike.

Taybetmendiyên amûrê:

1.Pêkhateyên enflasyonê yên amûrê bi piranî metreya herikîna girseyî, valahiya solenoid û tanka tevlihevkirina gazê vedihewîne, ku kontrolkirina rast a herikîna gazê ya pêvajoyê, tevlihevkirina yekgirtî û veqetandina ewle ya gazên cihêreng misoger dike, û dikare pêkhateyên pergala gazê ji bo karanîna hilbijêrin. Çavkaniya gaza şil, hilbijartina kesane ya cûrbecûr çavkaniyên karbona şil, û karanîna ewledar a almasa guhezbar a sentetîk û çavkaniyên boronê şil ên elektrodê hêsan dike.
2.Meclîsa derxistina hewayê bi pompek valahiya valê ya zivirî ya bêdeng û bikêr û pergalek pompeya molekular a turbo ku dikare zû bi hawîrdora paşxaneya valahiya bilind re bicive.Pîvana valahiya tevlihev a bi pîvana berxwedanê û pîvana ionîzasyonê ji bo pîvandina valahiya, û her weha pergala pîvana fîlimê ya kapasîtîf ​​ku dikare zexta gazên pêvajoyê yên cihêreng di navberek berfireh de bipîve tê bikar anîn.Zexta depokirinê bi tevahî otomatîk ji hêla valahiya kontrolê ya rêjeyî ya rast-bilind ve tê kontrol kirin.
3.Pêkhateya ava sarkirinê bi zexta avê ya pir-kanal, herikîn, pîvandina germahiyê û çavdêriya otomatîkî ya nermalavê ve tê saz kirin.Hêmanên cûda yên sarbûnê ji hev serbixwe ne, ku ji bo tespîtkirina xeletiya bilez hêsan e.Hemî şax xwedan guheztinên valê yên serbixwe ne, ku ewledar û bikêr e.
4.Pêkhateyên kontrolkirina elektrîkê ekrana LCD-a navgîniya mirov-makîneyê ya mezin-mezin dipejirînin û bi kontrola tam-otomatîkî ya PLC re hevkariyê dikin da ku guherandin û importkirina formula pêvajoyê hêsantir bikin.Kevirê grafîkî bi dîtbarî guheztin û nirxên parametreyên cihêreng nîşan dide, û amûr û parametreyên pêvajoyê bixweber têne tomar kirin û arşîv kirin da ku şopandina pirsgirêkê û analîza statîstîkî ya daneyê hêsantir bike.
5.Rafteya kargêr bi motorek servo ve tête çêkirin ku hilkirin û daxistina maseya substratê kontrol bike.Tabloya substratê ya grafît an sifirê sor dikare were hilbijartin.Germahiya bi termcouple tê pîvandin.
6.Pêkhateyên rackê dikarin li gorî daxwazên xerîdar bi tevahî an ji hev veqetandî werin sêwirandin da ku daxwazên hilgirtina taybetî yên xerîdar bicîh bînin.
7.Pêkhateyên plakaya morkirinê xweş û xweşik in.Peleyên morkirinê yên li deverên cihêreng ên modulên fonksiyonel ên amûrê dikarin zû werin veqetandin an serbixwe bêne vekirin û girtin, ku karanîna wê pir hêsan e.

Amûrên CVD-ê yên germî ji bo depokirina materyalên almasê minasib e, di nav de xêzkirina fîlima tenik, fîlima qalind a xwe-piştgir, elmasa mîkrokrîstalîn û nanokristalîn, almasa guhêrbar, hwd. Ew bi giranî ji bo xêzkirina parastinê ya berxwedêr a amûrên birrîna karbîdê çîmentoyî, materyalên nîvconductor tê bikar anîn. wek silicon û silicon carbide, pêlava belavkirina germê ya cîhazan, elektroda almasê ya birêkûpêk a dopîkirî ya boron, dezenfektekirina ozonê ya ava elektrolîtîk an dermankirina kanalîzasyonê.