Plazmaya bi enerjiya bilind dikare materyalên polîmer bombe bike û tîrêj bike, zincîrên molekulî yên wan bişkîne, komên çalak çêbike, enerjiya rûkalê zêde bike, û etching çêbike.Dermankirina rûyê plazmayê bandorê li avahiya hundurîn û performansa materyalê ya mezin nake, lê tenê bi girîngî taybetmendiyên rûkal diguhezîne.
Ji bo ku zirarê nede taybetmendiyên materyalê bixwe, dermankirina guheztina rûyê plazmayê bi gelemperî plasma bi dendika hêza bilindtir bikar nayîne.Cûdahiya di navbera vê dermankirinê û dermanên din ên plazmayê de ev e:
1) Iyon an atoman li rûxara dermankirî dernexînin (mîna îyonan).
2) Materyalên mezintir (wek sputtering an etching) jê nekin.
3) Ji çend tebeqeyên yekta (atomî) maddeyê zêdetir li rûxê zêde nekin (wek depokirin).
Bi kurtasî, tedawiya rûbera plazmayê tenê çend tebeqeyên atomê yên herî derveyî vedihewîne.
Parametreyên pêvajoyê yên ji bo guherandina rûbera plazmayê bi giranî zexta gazê, frekansa qada elektrîkê, hêza dakêşanê, dema çalakiyê, hwd. Parametreyên pêvajoyê bi hêsanî têne verast kirin.Di dema pêvajoya guherandina plazmayê de, gelek perçeyên çalak mêldar in ku bi rûxara dermankirî ya ku pê re têkevin reaksiyonê bikin, û dikarin ji bo dermankirina rûbera materyalê werin bikar anîn.Li gorî rêgezên kevneşopî, guheztina rûbera plazmayê feydeyên pêvajoya hêsan, operasyona hêsan, lêçûnek kêm, bê gemarî, bê çopê, hilberîna ewledar, û karbidestiya bilind heye.
Dema şandinê: Jun-07-2023