Teknolojiya depokirina buhara kîmyewî ya plasma-a arkê ya germ çeka tîrêjê ya germ bikar tîne da ku plazmaya arkê derxîne, ku bi kurtasî wekî teknolojiya kemera germ a PECVD tê binav kirin.Ev teknolojiyê dişibihe teknolojiya pêvekirina îyonê ya çeka têla germ, lê cûdahî ev e ku fîlima zexm a ku ji hêla ronahiya îyonê ve têl arc-guna germ tê wergirtin, herikîna elektronê ya ronahiya arc-ê ya ku ji hêla çeka kemera têl a germ ve hatî derxistin bikar tîne da ku metalê di nav de germ bike û bikelîne. kevçî, dema ku ronahiya arc têl a germ PECVD bi gazên reaksiyonê, yên wekî CH4 û H2, ku ji bo depokirina fîlimên elmas têne bikar anîn tê xwarin.Bi pişta xwedan li ser tîrêjiya dakêşana kemerê ya bilind a ku ji hêla çeka tîrêjê ya germ ve tê derxistin, îyonên gaza reaktîf bi heyecan dibin ku perçeyên cihêreng ên çalak, di nav de îyonên gazê, îyonên atomî, komên çalak, û hwd.
Di cîhaza PECVD-a arka têla germ de, du kulîlkên elektromagnetîk hîn jî li derveyî jûreya xêzkirinê têne saz kirin, ku dibe sedem ku herikîna elektronê ya bi dendika bilind di dema tevgera ber bi anodê ve bizivire, îhtîmala lihevketin û ionîzasyonê di navbera herikîna elektronê û gaza reaksiyonê de zêde dike. .Kulîlka elektromagnetîk di heman demê de dikare di stûnek kemerê de bigihîje hev da ku tansiyona plazmayê ya tevahiya jûreya hilweşandinê zêde bike.Di plazmaya arkê de, tîrbûna van perçeyên çalak bilind e, ku hêsantir dike ku fîlimên elmas û qatên fîlimê yên din li ser perçeya xebatê were danîn.
——Ev gotar ji hêla Teknolojiya Guangdong Zhenhua, açêkerên makîneyên xêzkirina optîkî.
Dema şandinê: Gulan-05-2023