1. Teknolojiya CVD ya germî
Kincên hişk bi piranî pêlên seramîk ên metal in (TiN, hwd.), ku ji ber reaksiyona metalê ya di xêzkirinê de û gazkirina reaktîf têne çêkirin.Di destpêkê de, teknolojiya CVD-ya germî hate bikar anîn da ku enerjiya aktîfkirina reaksiyonê ya tevlihev bi enerjiya germî di germahiya bilind a 1000 ℃ de peyda bike.Ev germahî tenê ji bo danîna TiN û pêlên din ên hişk li ser amûrên karbîd ên çîmentoyî maqûl e.Heya nuha, hîn jî teknolojiyek girîng e ku meriv pêlavên hevbeş ên TiN-Al20 li ser serê amûrên karbîd ên çîmentokirî rabike.
2. Çêkirina îyonê ya katodê ya vala û pêlava îyona arc têl germ
Di salên 1980-an de, pêlava îyona katodê ya vala û pêlava îyona arc têla germ ji bo depokirina amûrên birrîna pêçandî hate bikar anîn.Van her du teknolojiyên nixumandina îyonê teknolojiyên pêvekirina îyona dakêşana arkê ne, bi rêjeya ionîzasyona metalê heya 20% ~ 40%.
3. Çêkirina arc ion Katodê
Derketina holê ya rûxandina îyona arcê ya katodî bûye sedema pêşkeftina teknolojiyê ya danîna pêlên hişk li ser qalibên.Rêjeya iyonîzasyonê ya pêlava îyonê ya katodî 60% ~ 90% e, ku dihêle hejmareke mezin ji îyonên metal û îyonên gaza reaksiyonê bigihîjin rûbera kargehê û hîn jî çalakiya bilind bidomînin, di encamê de depokirina reaksiyonê û pêkhatina pêlên hişk ên mîna Qûtîk.Heya nuha, teknolojiya pêvekirina arc-ionê ya katodîk bi piranî ji bo danîna pêlên hişk li ser qalibên tê bikar anîn.
Çavkaniya kemera katodê çavkaniyek evaporasyonê ya hişk e bêyî hewzek şilandî ya sabît, û pozîsyona çavkaniya arkê dikare bi kêfî were danîn, rêjeya karanîna cîhê ya jûreya pêlavê baştir dike û kapasîteya barkirina firnê zêde dike.Şêweyên çavkaniyên kemera katodê çavkaniyên kemera katodê ya dorhêl a piçûk, çavkaniyên kemera stûnî, û çavkaniyên kemerên mezin ên daîre yên çargoşe hene.Hêmanên cihêreng ên çavkaniyên kemerê yên piçûk, çavkaniyên arkê yên stûnî, û çavkaniyên kemerê yên mezin dikarin ji hev cihê werin rêz kirin da ku fîlimên pir-qatî û fîlimên nano pirrengî werin danîn.Di vê navberê de, ji ber rêjeya bilind a ionîzasyona metalê ya pêlava îyona arc katodîk, îyonên metal dikarin bêtir gazên reaksiyonê bişoxilînin, di encamê de pêvajoyek berfireh û operasyonek hêsan peyda dibe da ku pêlên hişk ên hêja bistînin.Lêbelê, di mîkrostruktura qata xêzkirinê de dilopên qelew hene ku bi xêzkirina îyona arc katodîk ve têne wergirtin.Di van salên dawî de, gelek teknolojiyên nû derketine holê ku strukturên qata fîlimê safî bikin, ku qalîteya fîlima nixumandina arc-ionê baştir kiriye.
——Ev gotar ji hêla Teknolojiya Guangdong Zhenhua, açêkerên makîneyên xêzkirina optîkî.
Dema şandinê: Avrêl-28-2023