Pêvajoya Pêvajoya Makîneya Pêvekirina Sputtering

1. Substrate paqijkirina bombebaranê

1.1) Makîneya pêlavê ya şuştinê ji bo paqijkirina substratê rijandina ronahiyê bikar tîne.Ango, gaza argonê di jûreyê de bar bike, voltaja dakêşanê li dora 1000V e, Piştî vekirina dabînkirina elektrîkê, tîrêjek ronahiyek çêdibe, û substrate bi bombekirina îyona argonê tê paqij kirin.

1.2) Di makîneyên xêzkirinê de ku bi pîşesazîyê xemlên bilind-paşîn çêdikin, îyonên tîtaniumê yên ku ji çavkaniyên kemerê yên piçûk derdikevin bi piranî ji bo paqijkirinê têne bikar anîn.Makîneya xêzkirinê bi çavkaniyek kemerê ya piçûk ve tê saz kirin, û herika îyona tîtaniumê ya di plazmaya arkê de ku ji hêla dakêşana çavkaniya kemera piçûk ve hatî hilberandin ji bo bombekirin û paqijkirina substratê tê bikar anîn.

2. Tîtanium nitride cilê

Dema ku fîlimên nazik ên nîtrîda titanium tê razandin, materyalê mebest ji bo rijandinê armanca titanium e.Materyalên armancê bi elektrodê neyînî ya dabînkirina hêza sputtering ve girêdayî ye, û voltaja armanc 400 ~ 500V e;Herikîna argon sabît e, û valahiya kontrolê (3 ~ 8) x10 e^-1PA.Substrat bi elektroda neyînî ya dabînkirina hêzê ya bias ve, bi voltaja 100~200V ve girêdayî ye.

Piştî vekirina dabînkirina hêzê ya hedefa tîtaniumê ya rijandin, ronahiyek çêdibe, û îyonên argonê yên bi enerjiyê bilind hedefa tîtaniumê bombebaran dikin, atomên titaniumê ji armancê derdixin.

Nîtrojena gazê ya reaksiyonê tê destnîşan kirin, û atomên titanium û nîtrojen di jûreya pêlavê de di îyonên titanium û îyonên nîtrojenê de îyonîze dibin.Di bin balkişandina qada elektrîkê ya negatîf a ku li ser substratê tê sepandin, îyonên titanium û îyonên nîtrojenê ji bo reaksiyona kîmyewî û depokirinê berbi rûyê substratê bilez dibin da ku qatek fîlima nîtrîda tîtaniumê ava bikin.

3. Substratê derxînin

Piştî ku bigihîjin qalindahiya fîlimê ya ji berê diyarkirî, dabînkirina elektrîkê ya rijandinê, dabînkirina hêza biasê ya substratê, û çavkaniya hewayê qut bikin.Piştî ku germahiya substratê ji 120 ℃ kêmtir bû, jûreya pêlavê bi hewa dagirtin û substratê derxînin.

Ev gotar ji aliyêmagnetron sputtering çêker makîneya pêlavê- Guangdong Zhenhua.