Pêvajoya kişandina îyona katodê ya vala wiha ye:
1、Tingoyên Çîn di hilweşînê de bixin.
2, Mountkirina perçeya xebatê.
3,Piştî valakirina 5 × 10-3Pa, gaza argon ji lûleya zîv tê avêtin hundurê jûreya pêvekirinê, û asta valahiya dora 100Pa ye.
4, Hêza alîgiriyê vekin.
5、Piştî vekirina hêza arkê da ku vekêşana katodê ya vala bişewitîne. Daxistina şewqê di lûleya bişkojkê de tê hilberandin, voltaja dakêşanê 800 ~ 1000 V e, herika bilindkirina kemerê 30 ~ 50 A ye. Ji ber bandora katodê ya vala ya ronahiyê dakêşandin, Tîrêjiya tîrêjê ya bilind a tîrêjê, tîrêjiya zêde ya îyonên tîrêjê di lûleya zîvîn de dîwarê lûleya mêldarê bombe dike, dîwarê boriyê bi lez germ bike ku berbi herikîna elektronê ve bibe, moda dakêşanê ji tîrêjê ronahiyê guheztina ji nişka ve vekêşana kemerê,Voltaj 40~70V e,Aniha 80~300A ye.Germahiya lûleya zîv digihîje jor 2300K, Incandescent, tîrêjek bilind a elektronên kemerê ji boriyê derdixe, û diavêje anodê.
6、Rastkirina asta valahiya. Asta valahiya ji bo tîrêjiya şewqê ji çeka katodê ya vala bi qasî 100 Pa ye, Û pileya valahiya pêlavê 8 × 10-1 ~ 2 Pa ye. Ji ber vê yekê, piştî şewitandina dakêşana kemerê, Argona tê kêm bike gaza ku zûtirîn gengaz dibe, Asta valahiya li ser rêgezek guncan e ji bo xêzkirinê eyar bikin.
7, Tebeqeya bingehê ya titanyûmê.Elektron diherike ser çîçeka metala Çîn a anodîkî ya hilweşiyayî, Veguheztina enerjiya kînetîk bo enerjiya germê, Hilmiqîna metala Çîn bi germkirinê, Atomên vaporê digihîjin perçeya xebatê da ku fîlimek titanium çêbike.
8、Depokirina TiN. Gaza nîtrojenê ji jûreya nixumandinê re tê peyda kirin, gaza nîtrojenê û atomên hilmikî di nav îyonên nîtrojen û titaniumê de îyonîze dibin. Li jorê xaçê, îhtîmala lêdana neelastîk a atomên vapora tîtaniumê bi herikên enerjiyê yên tîtan yên bi elektronên enerjiyê yên kêm, Rêjeya veqetandina metal bi qasî 20% ~ 40%., îyonên tîtaniumê bi nîtrojena gaza reaksiyonê re bi kîmyewî re reaksiyonê çêdibe, ji bo bidestxistina qatek fîlima mantoya nîtrîdê zêde dibe. îyonîzasyonê.Di dema xêzkirinê de, Divê herikîna pêla elektromagnetîk a li dor çerxerê jî were sererast kirin, Tîra elektronê li navenda hilweşînê bisekine, Bi vî rengî, tîrêjê hêza herikîna elektronê zêde dibe.
9, Power Off.Piştî ku qalindahiya fîlimê digihîje qalindahiya fîlimê ya ji berê diyarkirî, dabînkirina elektrîkê ya arkê qut bike, dabînkirina hêzê û dabînkirina hewayê bias.
Dema şandinê: Tîrmeh-08-2023