Pêvajoya kişandina îyonê ya çavkaniya kemera katodîk di bingeh de wekî teknolojiyên din ên nixumandinê yek e, û hin operasyonên wekî sazkirina perçeyên xebatê û valakirinê êdî nayên dubare kirin.
1.Paqijkirina bombardimanên karûbaran
Beriya xêzkirinê, gaza argon bi valahiya 2×10-2Pa tê avêtin hundurê jûreya pêvekirinê.
Pîvana hêzê ya nebatê vekin, bi çerxa peywirê ya 20% û biasiya perçeya xebatê ya 800-1000V.
Dema ku hêza kemerê tê vemirandin, ronahiya arkê ya zeviyê sar tê hilberandin, ku ji çavkaniya arkê rêjeyek mezin a elektronîk û îyona tîtaniumê derdixe, plasmayek bi tîrêjê bilind çêdike.Iyona tîtaniumê derzîlêdana xwe di nav perçeya xebatê de di bin zexta negatîf a bilind a neyînî ya ku li perçeyê xebatê tê sepandin, bilez dike, gaza mayî û gemarên ku li ser rûyê perçeya xebatê veqetandî têne bombe kirin û rijandin, û rûyê perçeya xebatê paqij û paqij dike;Di heman demê de, gaza klorê ya di jûreya xêzkirinê de ji hêla elektronan ve tê îyonîzekirin, û îyonên argon bombekirina rûbera perçeyê bileztir dike.
Ji ber vê yekê, bandora paqijkirina bombebaranê baş e.Tenê bi qasî 1 hûrdem paqijkirina bombebaranê dikare perçeya xebatê paqij bike, ku jê re "bombebarana kevanê sereke" tê gotin.Ji ber girseya zêde ya îyonên titanium, heke çavkaniyek kemerê ya piçûk were bikar anîn da ku pir dirêj perçeyê xebatê bombebaran bike û paqij bike, germahiya perçeya xebatê mêldarê germbûna zêde ye, û dibe ku devê amûrê nerm bibe.Di hilberîna gelemperî de, çavkaniyên kemerê yên piçûk yek bi yek ji jor ber bi jêr ve têne zivirandin, û her çavkaniyek kemera piçûk bi qasî 1 hûrdem demek paqijkirina bombekirinê heye.
(1) Tebeqeya jêrîn a titaniumê vedigire
Ji bo baştirkirina girêdana di navbera fîlim û substratê de, bi gelemperî berî ku nitride titanium nitrid bike qatek ji substrata titaniumê ya paqij tê pêçandin.Asta valahiya 5 × 10-2-3 × 10-1 Pa eyar bikin, voltaja biasê ya kargehê li ser 400-500V eyar bikin, û çerxa peywirê ya dabînkirina hêzê ya nebatê li 40%~50% eyar bikin.Hîn jî çavkaniyên kemerê yên piçûk yek bi yek dişewitînin da ku dakêşana kemera zeviya sar çêbike.Ji ber kêmbûna voltaja biasê ya neyînî ya perçeya xebatê, enerjiya îyonên titanium kêm dibe.Piştî ku digihîje perçeya xebatê, bandora şilandinê ji bandora depokirinê kêmtir e, û qatek veguheztina titaniumê li ser perçeyê çêdibe da ku hêza girêdanê di navbera qata fîlima hişk a nitride titanium û substratê de baştir bike.Ev pêvajo di heman demê de pêvajoya germkirina perçeya xebatê ye.Dema ku hedefa tîtaniumê ya safî tê derxistin, ronahiya plazmayê şîn şîn e.
1.Ammoniated kasa fîlimê hişk
Dereceya valahiya 3×10 eyar bikin-1-5Pa, voltaja biasê ya perçeya xebatê li 100-200V eyar bikin, û çerxa peywirê ya dabînkirina hêzê ya nebza bias li 70% ~ 80% eyar bikin.Piştî ku nîtrojen tê danîn, titanium reaksiyonek bi plazmaya dakêşana arkê re reaksiyonê ye ku fîlima hişk a nîtrîda titanium depo dike.Di vê nuqteyê de, ronahiya plazmaya di jûreya valahiya sor de ye.Ger C2H2, O2, hwd têne destnîşan kirin, TiCN, TiO2, û hwd qatên fîlimê dikarin werin bidestxistin.
-Ev gotar ji hêla Guangdong Zhenhua, açêkerê makîneya pêlavê valahiya
Dema şandinê: Jun-01-2023