Depokirina fîlma tenik pêvajoyek bingehîn e ku di pîşesaziya nîvconductoran de, û her weha di gelek warên din ên zanist û endezyariya materyalan de tê bikar anîn. Ew afirandina qatek tenik a materyalê li ser substratek vedihewîne. Fîlmên ku têne depokirin dikarin xwedî qalindahiyên cûrbecûr bin, ji çend qatên atomî bigire heya çend mîkrometreyan. Ev fîlm dikarin ji bo gelek armancan xizmet bikin, wekî rêberên elektrîkê, îzolatoran, pêçanên optîkî, an astengiyên parastinê.
Li vir rêbazên sereke yên ku ji bo depoya fîlima zirav têne bikar anîn hene:
Depozîsyona Buxara Fizîkî (PVD)
Rijandin: Tîrêjeke îyonê ya enerjiya bilind tê bikaranîn da ku atoman ji materyalek hedef dûr bixe, ku dû re li ser substratê kom dibe.
Buharbûn:** Materyal di valahiyek de tê germ kirin heta ku buhar bibe, û dû re buhar li ser substratê kom dibe.
Depozîsyona Qata Atomî (ALD)
ALD teknîkek e ku tê de fîlmek li ser substratekê, yek qat atomî di carekê de, tê çandin. Ew pir kontrolkirî ye û dikare fîlmên pir rast û konformal biafirîne.
Epîtaksîya Tîrêjên Molekulî (MBE)
MBE teknîkeke mezinbûna epitaksiyal e ku tê de tîrêjên atom an molekulan li ser substratek germ têne rêve kirin da ku fîlimek tenik a krîstalî çêbikin.
Awantajên Depozîtasyona Fîlma Tenik
Fonksiyonelîteya pêşkeftî: Fîlm dikarin taybetmendiyên nû bidin substratê, wek berxwedana xêzkirinê an jî îhtîmala guhêrbariya elektrîkê.
Kêmkirina bikaranîna materyalan: Ew dihêle ku cîhazên tevlihev bi karanîna materyalê ya herî kêm werin afirandin, lêçûnan kêm bike.
Xwesazkirin: Fîlm dikarin werin çêkirin da ku taybetmendiyên mekanîkî, elektrîkî, optîkî, an kîmyewî yên taybetî hebin.
Serlêdan
Amûrên nîvconductor: Transistor, devreyên yekbûyî, û pergalên mîkroelektromekanîkî (MEMS).
Pêçanên optîkî: Pêçanên dijî-refleks û bilind-refleks li ser lens û xaneyên rojê.
Pêçanên parastinê: Ji bo pêşîgirtina li korozyon an jî xişandina amûr û makîneyan.
Serlêdanên biyomedikal: Rûpûşên li ser împlantên bijîşkî an jî pergalên radestkirina dermanan.
Hilbijartina teknîka danîna madeyan bi hewcedariyên taybetî yên serîlêdanê ve girêdayî ye, di nav de celebê materyalê ku were danîn, taybetmendiyên fîlmê yên xwestî, û sînorkirinên lêçûnê.
- Ev gotar ji hêlaçêkerê makîneya boyaxkirina valahiyêGuangdong Zhenhua
Dema weşandinê: 15ê Tebaxa 2024an