Faktorên ku bandorê li jehrîbûna armancê di şuştina magnetron de dikin çi ne?

1, Çêkirina pêkhateyên metal li ser rûyê armancê
Di pêvajoya çêkirina pêkhateyek ji rûberek armancek metalî ya bi pêvajoyek rijandina reaktîf de pêkhatî li ku pêk tê?Ji ber ku reaksiyona kîmyayî ya di navbera pariyên gaza reaktîf û atomên rûbera armancê de atomên hevedudanî çêdike, ku bi gelemperî egzotermîk e, germahiya reaksiyonê divê rêyek jê hebe, wekî din reaksiyona kîmyayî nikare berdewam bike.Di bin şert û mercên valahiya de, veguheztina germê di navbera gazan de ne mimkûn e, ji ber vê yekê divê reaksiyona kîmyayî li ser rûyek hişk pêk were.Sputterkirina reaksiyonê li ser rûberên armanc, rûberên substratê, û rûberên din ên avahîsaziyê çêdike.Çêkirina pêkhateyên li ser rûbera substratê armanc e, hilberîna pêkhateyan li ser rûberên din ên binesaziyê windakirina çavkaniyan e, û hilberîna pêkhateyan li ser rûyê armancê wekî çavkaniyek atomên hevedudanî dest pê dike û dibe asteng ji bo peydakirina domdar bêtir atomên tevlihev.

2, Faktorên bandor ên jehrîbûna armancê
Faktora sereke ku bandorê li jehrîbûna armancê dike, rêjeya gaza reaksiyonê û gaza rijandinê ye, pir gaza reaksiyonê dê bibe sedema jehrîbûna armancê.Pêvajoya rijandina reaktîf li qada kanala şilandina rûbera armancê tê meşandin, xuya ye ku ji hêla pêkhateya reaksiyonê ve hatî nixumandin an jî pêkhateya reaksiyonê tê qewirandin û rûyê metalê ji nû ve tê xuyang kirin.Ger rêjeya hilberîna hevedudanî ji rêjeya derxistina hevedudanî mezintir be, qada vegirtina tevlihev zêde dibe.Di hêzek diyar de, mîqdara gaza reaksiyonê ya ku di hilberîna tevlihev de beşdar dibe zêde dibe û rêjeya hilberîna tevlihev zêde dibe.Ger mîqdara gaza reaksiyonê pir zêde bibe, qada vegirtina tevlihev zêde dibe.Û heke rêjeya herikîna gaza reaksiyonê di wextê xwe de neyê sererast kirin, rêjeya zêdebûna qada vegirtinê ya hevedudanî nayê çewisandin, û kanala şilandinê dê ji hêla tevliheviyê ve bêtir were nixumandin, gava ku hedefa avêtinê bi tevahî ji hêla tevlihev ve were girtin, armanc ew e. bi temamî jehrî bûye.

3, Diyardeya jehrê armanc
(1) berhevkirina îyona erênî: dema ku jehrîkirina armancê, dê li ser rûyê armancê qatek fîlima îzolekirinê çêbibe, îyonên erênî ji ber bloka qata îzolasyonê digihîjin rûyê armanca katodê.Ne rasterast têkevin rûxara armanca katodê, lê li ser rûyê armancê kom dibin, hilberandina zeviya sar berbi dakêşana arkê hêsan e - arşîv, da ku şilbûna katodê nekare bidome.
(2) wendabûna anode: dema ku jehrîkirina armancê, dîwarê jûreya valahiya zexmkirî jî fîlima însulasyonê vedihewîne, gihîştina elektronên anode nikare têkeve anode, çêbûna diyardeya windabûna anode.

4, Ravekirina laşî ya jehrîkirina armancê
(1) Bi gelemperî, rêjeya belavkirina elektronê ya duyemîn a pêkhateyên metal ji ya metalan bilindtir e.Piştî jehrîkirina armancê, rûyê armancê hemî pêkhateyên metal e, û piştî ku ji hêla îyonan ve tê bombebaran kirin, hejmara elektronên duyemîn ên serbest têne berdan zêde dibe, ku ev guheztina cîhê çêtir dike û impedanceya plazmayê kêm dike, û dibe sedema voltaja pijandinê ya kêmtir.Ev rêjeya sputtering kêm dike.Bi gelemperî voltaja şûştinê ya magnetronê di navbera 400V-600V de ye, û dema ku jehrîkirina armancê çêdibe, voltaja şûştinê bi girîngî kêm dibe.
(2) Hedefa metal û hedefa hevedudanî di eslê xwe de rêjeya şilandinê cûda ye, bi gelemperî hejmera şilandina metalê ji hevrêziya şûştinê ya tevlihev mezintir e, ji ber vê yekê rêjeya avêtinê piştî jehrîkirina armancê kêm e.
(3) Karbidestiya rijandina gaza rijandina reaktîf bi eslê xwe ji karbidestiya rijandina gaza bêhêz kêmtir e, ji ber vê yekê rêjeya şilbûna berfireh kêm dibe piştî ku rêjeya gaza reaktîf zêde dibe.

5, Çareseriyên ji bo jehrîkirina armancê
(1) Dabînkirina hêza frekansa navîn an dabînkirina hêza frekansa radyoyê bipejirînin.
(2) Kontrola girtî ya ketina gaza reaksiyonê qebûl bikin.
(3) Armancên ducan bipejirînin
(4) Guhertina moda jehrîkirinê kontrol bikin: Berî kulavkirinê, kêşeya bandora hîsteresisê ya jehrîbûna armancê tê berhev kirin da ku herikîna hewaya ketina hewayê li pêşiya hilberîna jehrîna armancê were kontrol kirin da ku pê ewle bibe ku pêvajo her gav di moda berî hilweşandinê de ye. rêje bi tundî dadikeve.

-Ev gotar ji hêla Teknolojiya Guangdong Zhenhua ve, hilberînerek alavên valahiya valahiya, hatî weşandin.