Prensîba teknîkî ya alavên pêlavkirina hişk a katodê ya vala çi ye?

Rakirina îyonê tê vê wateyê ku reaktant an materyalên hilkirî bi bombekirina îyonên îyonên gazê an materyalên hilmikî li ser substratê têne razandin dema ku materyalên hilmikkirî têne veqetandin an gaz di jûreyek valahiya de têne derxistin.Prensîba teknîkî ya alavên pêlava hişk a katodê ya vala, pêlava îyona katodê ya vala ye, ku teknolojiyek hilweşandina katodê ya vala ye.

Di derbarê prensîba hilweşandina dakêşana katodê ya vala de: Teknîka dakêşana katodê ya vala derzek katodê germ bikar tîne da ku tîrêjek plazmayê çêbike, û katod lûleyek tantalumê ya vala ye.Katod û anoda arîkar nêzî hev in, ku du polên ku vekêşana kemerê dişewitînin in.

Çeka dakêşana katodê ya vala bi du awayan dişewite.
1, Bikaranîna qada elektrîkê ya bi frekansa bilind ku li lûleya tantalumê ya katodê tê sepandin, bi vî rengî ku lûleya tantalumê ya katodê îyonîzekirina gaza argonê di nav îyonên argonê de ye û dûv re ji hêla lûleya tantalumê ya katodê ve bi domdarî ji hêla îyonên argonê ve tê bombe kirin, heya ku germ germ bibe. standarda germahiya herî kêm a emîsyona elektronê û tîra elektronê ya plazmayê çêdike.

2, Di lûleya tantalumê ya alîkar û katodê de di navbera serîlêdana voltaja dor 300V DC de, lûleya tantalumê ya katodê hîn jî di nav gaza argonê de derbas dibe, di zexta gaza argonê ya 1Pa-10Pa de, diyardeya tîrêjê ya tîrêjê ya anodê û katodê ya tantalê ya alîkar, nifşa bomberdûmana îyona argonê bi berdewamî lûleya tantalumê ya katodê bombebaran dike, heya ku germahiya 2300K-2400K, lûleya tantalê ya katodê hejmareke mezin ji elektronan derdixe, dê ji "derxistina ronahiyê" bibe "vekêşana kemerê", vê carê voltaja wekî 30V-60V kêm e, wê hingê heya ku katod û anodê di navbera dabînkirina hêzê de hebe, hûn dikarin tîrêjek elektronîkî ya plazmayê biafirînin.

Amûrên kişandina katodîk
1, Struktura çekê ya orîjînal, ji heyama herî zêde ya orîjînal 230A ber 280A çêtir bikin.
2, Struktura pergala sarbûnê ya orjînal baştir bikin, ji sarbûna makîneya ava berfê ya orjînal 4℃ heya sarbûna ava sarbûna germahiya odeyê, lêçûna elektrîkê ji bo bikarhêneran xilas dike.
3, Struktura veguheztina mekanîkî ya orîjînal baştir bikin, li strukturên veguheztina şilava magnetîkî hate guheztin, germahiya bilind dê çarçoweya zivirî negire.
4, qada pêlavê ya bi bandor ￠ 650X1100, dikare 750 X 1250X600 çêkerên mirîşk û kelûmelên pir-dirêj, bi hêjmarek pir mezin vehewîne.

Makîneya nixumandina îyona katodê ya vala bi giranî di lêkirina amûr, qalib, qalibên neynikê yên mezin, qalibên plastîk, kêrên hobbing û hilberên din de tê bikar anîn.