Teknolojiya hilweşandina tîrêjê ya Ionê

Di rastiyê de, teknolojiya depokirina alîkariya tîrêjê Ion teknolojiyek pêkhatî ye.Ew teknolojiyek dermankirina îona rûkalê ya tevlihev e ku teknolojiya fîlimê ya îlonê û fîzîka daxistina vaporê ya laşî, û celebek nû ya teknîka xweşbînkirina rûbera tîrêjê ya ionê bi hev re dike.Digel avantajên hilanîna vapora laşî, ev teknîk dikare bi domdarî her fîlimek qalind di bin şert û mercên kontrolê yên hişktir de mezin bike, krîstalbûn û arastebûna qata fîlimê bi girîngî baştir bike, hêza adheziyonê ya qata fîlimê/substratê zêde bike, dendikê çêtir bike. ji tebeqeya fîlimê, û fîlimên hevedudanî yên bi rêjeyên stoichiometric ên îdeal li nêzî germahiya jûreyê sentez bikin, di nav de celebên nû yên fîlimên ku di germahî û zexta odeyê de nayên bidestxistin.Rakirina arîkariya tîrêjê ya yonê ne tenê avantajên pêvajoya îlonê diparêze, lê di heman demê de dikare substratê bi fîlimek bi tevahî cûda ji substratê veşêre.
Di her cûre rûxandina vaporê ya laşî û barkirina buhara kîmyewî de, komek çekên ion bombebarkirî dikare were zêdekirin da ku pergalek IBAD ava bike, û du pêvajoyên gelemperî yên IBAD yên jêrîn hene, wekî ku di Wêneyê de têne xuyang kirin:

Wekî ku di Pic (a) de tê xuyang kirin, çavkaniyek evaporkirina tîrêjê elektronîkî tê bikar anîn da ku tîrêjê îyonê ku ji çeka îyonê derdixe, bi tîrêjê fîlimê re bişewitîne, bi vî rengî tîrêjên îyonê yên arîkar têne avêtin.Feyde ev e ku enerjiya tîrêjê ya îonê û rêgez dikare were sererast kirin, lê tenê aliyek yek an tixûbdar, an pêkhateyek dikare wekî çavkaniya evaporasyonê were bikar anîn, û her zexta vaporê ya pêkhateya alloyê û pêkhateyê cihêreng e, ku wê dijwar dike. ji bo bidestxistina qata fîlimê ya pêkhateya çavkaniya evaporasyonê ya orjînal.
Wêneyê (b) depokirina bi arîkariya tîrêjê îyonê nîşan dide, ku di heman demê de wekî depokirina tîrêjê îyonê ya ducar tê zanîn, ku tê de hedefa ku ji materyalê xêzkirina tîrêjê îyonê hatî çêkirin, hilberên rijandinê wekî çavkanî têne bikar anîn.Dema ku ew li ser substratê tê razandin, bi tîrêjkirina bi çavkaniyek îyonek din re, tîrêjê îyonê bi tîrêjê ve tê bidestxistin.Feydeya vê rêbazê ev e ku pirtikên rijandin bi xwe xwedî enerjiyek diyar in, ji ber vê yekê bi substratê re adhezîyonek çêtir heye;her pêkhateyek ji armancê dikare bibe cil û berg, lê di heman demê de dikare bibe reaksiyonê ku di nav fîlimê de were rijandin, hêsan e ku meriv pêkhateya fîlimê biguhezîne, lê kargêriya depokirina wê kêm e, armanc biha ye û pirsgirêkên wekî şûştina bijartî hene.