Teknolojiya Parzûna Magnetic

Teoriya bingehîn a cîhaza parzûna magnetîkî
Mekanîzmaya fîlterkirina amûra parzûna magnetîkî ya ji bo perçeyên mezin ên di tîra plazmayê de wiha ye:
Bi karanîna cûdahiya di navbera plazma û pirtikên mezin ên di berber û bargiran-ber girseyê de, "astengek" heye (an beflek an jî dîwarek lûleyek kelandî) di navbera substrat û rûbera katodê de cîh digire, ku her perçeyên ku di nav de diçin asteng dike. xeta rast di navbera katod û substratê de, dema ku îyon dikarin ji hêla qada magnetîkî ve werin guheztin û ji "astengê" derbasî substratê bibin.

Prensîba xebatê ya cîhaza filtrasyona magnetîkî

Di qada magnetîkî de, Pe<

Pe û Pi bi rêzdarî tîrêjên Larmor ên elektron û îyonan in, û a pîvana hundurê parzûna magnetîkî ye.Elektronên di plazmayê de ji hêla hêza Lorentz ve têne bandor kirin û li ser qada magnetîkî bi eksê dizivirin, dema ku qada magnetîkî kêmtir bandorê li kombûna îyonan dike ji ber cûdahiya di navbera îyon û elektronan de di tîrêja Larmor de.Lêbelê, dema ku tevgera elektronê li ser axa amûra parzûna magnetîkî, ew ê ji ber baldariya wê û qada elektrîkî ya neyînî ya bihêz, îyonan bi ser aksialê ve bikişîne, ji ber vê yekê elektron ji îyonê mezintir e bi berdewamî îyonê ber bi pêş ve dikişîne, dema ku plazma her gav ji hêla elektrîkî ve bêalî dimîne.Parçeyên mezin ji hêla elektrîkê ve bêalî ne an hinekî neyînî barkirî ne, û kalîte ji îyon û elektronan pir mezintir e, di bingeh de ji zeviya magnetîkî û tevgera xêzikî ya li ser bêhêziyê bandor nabe, û dê piştî ku bi dîwarê hundurê xêzikê ve biqelişe were fîlter kirin. sazî.
Di bin fonksiyona hevgirtî ya çîçeka qada magnetîkî ya çewisandinê û hilkişîna gradientê û lihevketina ion-elektronê de, plazma dikare di cîhaza parzûna magnetîkî de were guheztin.Di Modelên teorîk ên hevpar de ku îro têne bikar anîn, modela herikîna Morozov û modela rotorê hişk a Davidson in, ku van taybetmendiya hevpar a jêrîn heye: Zeviyek magnetîkî heye ku elektronan bi rengek hişk helîkî dimeşîne.
Hêza qada magnetîkî ya ku tevgera eksî ya plazmayê di cîhaza parzûna magnetîkî de rêve dike divê wusa be:

Mi, Vo û Z bi rêzê ve girseya îyonan, leza veguheztinê û hejmara barkêşan in.a pîvana hundurê parzûna magnetîkî ye, û e barkirina elektronê ye.
Divê were zanîn ku hin îyonên enerjiya bilind bi tîra elektronê bi tevahî nayên girêdan.Dibe ku ew bigihîjin dîwarê hundurê parzûna magnetîkî, ku dîwarê hundur di potansiyelek erênî de çêdike, ku di encamê de rê li ber îyonan digire ku bigihîjin dîwarê hundur û windabûna plazmayê kêm dike.
Li gorî vê diyardeyê, zextek erênî ya erênî ya guncan dikare li dîwarê cîhaza parzûna magnetîkî were sepandin da ku lihevketina îyonan asteng bike da ku kargêriya veguheztina îyonê ya armanc baştir bike.

Dabeşkirina amûra parzûna magnetîkî
(1) Struktura xêzikî.Qada magnetîkî ji bo herikîna tîrêjê îyonê wekî rêberek tevdigere, mezinahiya cihê katodê û rêjeya komikên pariyên makroskopî kêm dike, di heman demê de pevçûnên di nav plazmayê de xurt dike, dibe sedema veguheztina pariyên bêalî di îyonan de û hejmara makroskopî kêm dike. komikên perçeyan, û her ku hêza qada magnetîkî zêde dibe hejmara pirtikên mezin bi lez kêm dike.Li gorî rêbaza pêvekirina pir-arc-iyonê ya kevneşopî, ev cîhaza avakirî kêmbûna berbiçav a karbidestiyê ya ku ji hêla rêbazên din ve hatî çêkirin derbas dike û dikare bi bingehîn rêjeya hilweşandina fîlimê ya domdar misoger bike dema ku jimara perçeyên mezin bi qasî 60% kêm bike.
(2) Struktura curve-curve.Her çend struktur xwedan formên cihê ye, lê prensîba bingehîn yek e.Plazma di bin fonksiyona hevgirtî ya qada magnetîkî û qada elektrîkê de dimeşe, û qada magnetîkî ji bo sînorkirin û kontrolkirina plazmayê tê bikar anîn bêyî ku tevgerê li ser riya xetên hêza magnetîkî veqetîne.Û parçikên nebarkirî dê li ser xêzikê bimeşin û ji hev bên veqetandin.Fîlimên ku ji hêla vê amûra avahîsaziyê ve hatine amadekirin xwedan hişkiya bilind, hişkiya rûxê kêm, dendika baş, mezinahiya genimê yekgirtî, û girêdana bingeha fîlimê ya bihêz e.Analîza XPS destnîşan dike ku serhişkiya rûyê fîlimên ta-C yên ku bi vî rengî cîhazê ve hatine pêçandin dikare bigihîje 56 GPa, ji ber vê yekê amûra avahiyek kelandî rêbaza herî berfireh û bandorker e ji bo rakirina perçeyên mezin, lê pêdivî ye ku karbidestiya veguheztina îyonê ya armanc hebe. bêtir çêtir kirin.Amûra parzûna magnetîkî ya 90 ° bend yek ji wan amûrên strukturên kelandî yên herî berfireh e.Ceribandinên li ser profîla rûkala fîlimên Ta-C destnîşan dikin ku profîla rûkalê ya cîhaza parzûna magnetîkî ya 360 ° bend li gorî amûra parzûna magnetîkî ya 90 ° pir nayê guheztin, ji ber vê yekê bandora parzûna magnetîkî ya 90 ° ji bo perçeyên mezin dikare bi bingehîn be. bidestxistin.Amûra parzûna magnetîkî ya 90 ° bend bi giranî du celeb avahî hene: yek solenoidek bend e ku di jûreya valahiya de tê danîn, û ya din ji jûreya valahiya tê danîn, û cûdahiya di navbera wan de tenê di strukturê de ye.Zexta xebatê ya cîhaza parzûna magnetîkî ya 90 ° bend di rêza 10-2Pa de ye, û ew dikare di cûrbecûr sepanan de, wek nitride, oksît, karbonê amorf, fîlima nîvconductor û fîlima metal an ne-metal were bikar anîn. .

Karbidestiya amûra parzûna magnetîkî
Ji ber ku ne hemî perçeyên mezin dikarin enerjiya kînetîk di pevçûnên domdar ên bi dîwêr re winda bikin, hejmareke diyarkirî ya pirtikên mezin dê bi riya derketina boriyê bigihîjin binê binê.Ji ber vê yekê, amûrek fîlterkirina magnetîkî ya dirêj û teng xwedan karbidestiya parzûnê ya pirtirkêmtir e, lê di vê demê de ew ê windabûna îyonên armancê zêde bike û di heman demê de tevliheviya strukturê zêde bike.Ji ber vê yekê, pêbaweriya ku amûra fîlterasyona magnetîkî xwedan rakirina perçeyên mezin ên hêja û karbidestiya bilind a veguheztina îyonê ye, ji bo teknolojiya pêlava îyonê ya pir-arc şertek pêdivî ye ku di depokirina fîlimên nazik ên performansa bilind de xwedî perspektîfek serîlêdanê ya berfireh be.Xebata cîhaza parzûna magnetîkî ji hêla hêza qada magnetîkî, biasiya bendkirinê, vekirina felqê ya mekanîkî, kaniya çavkaniya arkê û goşeya bûyera perçeya barkirî ve tê bandor kirin.Bi danîna pîvanên maqûl ên cîhaza fîlterkirina magnetîkî, bandora fîlterkirina perçeyên mezin û karbidestiya veguheztina îonê ya armancê dikare bi bandor were baştir kirin.