Amûrên pêlavê yên pêkhatî yên kişandina magnetron û pêlava îyonê ya pir-arc katodîk dikarin ji hev cihê û hevdem bixebitin;dikare fîlima metalê ya paqij, fîlima tevlihev a metal an fîlima pêkhatî were razandin û amadekirin;dikare bibe yek tebeqeya fîlimê û fîlimek pêkhatî ya pir-qatî.
Avantajên wê wiha ne:
Ew ne tenê feydeyên cûrbecûr cil û bergên îyonê berhev dike û ji bo qadên cûrbecûr serîlêdanê amadekirin û hilanîna fîlima zirav dihesibîne, lê di heman valahiyê de destûr dide veqetandin û amadekirina fîlimên monolîtîk ên pir-tebeq an jî fîlimên pêkhatî yên pir-tebeq. jûreya nixumandinê di yek carê de.
Serîlêdanên qatên fîlimê yên depokirî bi berfirehî têne bikar anîn teknolojiyên wê di cûrbecûr cûrbecûr de ne, yên tîpîk wiha ne:
(1) Tevlîheva ne-hevsengiya sputterkirina magnetronê û teknolojiyên îyona katodîk.
Amûra wê wekî jêrîn tê nîşandan.Ew amûrek pêvekirina hevedudanî ya armanca magnetron a kolonî û pêlava îyona arcê katodîk a plankirî ye, ku hem ji bo fîlima tevlihev a pêvekirina amûrê û hem jî ji bo kişandina fîlima xemilandî maqûl e.Ji bo nixumandina amûrê, pêlava îyonê ya katodîk pêşî ji bo nixumandina qata bingehê tê bikar anîn, û dûv re jî hedefa magnetronê ya stûnê ji bo daxistina nîtrîd û qatên fîlimê yên din tê bikar anîn da ku fîlimek rûkala amûra pêvajoyek rast-rast werbigire.
Ji bo kişandina xemilandî, fîlimên xemilandî yên TiN û ZrN dikarin pêşî bi pêlava kemera katodîk ve werin razandin, û dûv re bi karanîna armancên magnetronê bi metalê werin dop kirin, û bandora dopîngê pir baş e.
(2) Tevliheviya teknîkên xêzkirina îyona arcê ya katodê magnetron û stûnê ya dualî.Amûr wekî jêrîn tê nîşandan.Ew teknolojiya pêşkeftî ya dualî tê bikar anîn, dema ku du hedefên cêwî yên li kêleka hev bi dabînkirina hêza frekansa navîn ve girêdayî ne, ew ne tenê jehrîbûna armancê ya şûştina DC, agir û kêmasiyên din derbas dike;û dikare Al203, fîlima kalîteya oksîdê SiO2 razîne, da ku berxwedana oksîdasyonê ya perçeyên pêçandî zêde û çêtir bibe.Hedefa pir-arc a stûnê ku li navenda jûreya valahiya hatî saz kirin, materyalê armanc dikare Ti û Zr were bikar anîn, ne tenê ji bo domandina avantajên rêjeya veqetandina pir-arkê ya bilind, rêjeya hilweşandinê, lê di heman demê de dikare bi bandor "dilopên" di nav de jî kêm bike. pêvajoya depokirina hedefa pir-arc a balafira piçûk, dikare fîlimên metal, fîlimên hevedudanî, poroziyek kêm razîne û amade bike.Ger Al û Si wekî materyalên armanc ji bo armancên magnetronê yên dualî yên ku li derdor hatine saz kirin têne bikar anîn, fîlimên metal-seramîk ên Al203 an Si0 dikarin werin razandin û amade kirin.Digel vê yekê, gelek firokeyên piçûk ên çavkaniya evaporasyona pir-arc dikarin li derdor werin saz kirin, û materyalê mebesta wê dikare Cr an Ni be, û fîlimên metal û fîlimên pêkhatî yên pirreng dikarin werin razandin û amadekirin.Ji ber vê yekê, ev teknolojiya pêlavê ya pêkhatî teknolojiyek pêvekirina tevlihev e ku bi gelek serîlêdan e.
Dema şandinê: Nov-08-2022