Amûrên paqijkirina plazmaya valahiya strukturek yekbûyî, ku bi pergala paqijkirina îyona RF-ê, kontrolkirina bi tevahî otomatîk, xebitandin û domandina rehet ve hatî çêkirin, qebûl dike.
Generatorê frekansa bilind a RF dikare plazmaya bi tansîyona bilind çêbike, çalak bike, çewisîne û rûbera kargehê bişewitîne, bi bandor toz û rûnê li ser rûbera hilberê rake, stresa rûkalê berde, û guheztinên cihêreng li ser rûyê perçeya xebatê bigire.
Ew ji gomek, cam, seramîk, metal û hilberên din re tê sepandin, û ji bo mîkroelektronîk, LCD, LED, LCM, panela danûstendinê ya PCB, pakkirina nîvconductor, amûrên bijîjkî, ceribandinên zanistiya jiyanê û qadên din tê sepandin.