Тажрыйбалык түрмөктөн тоголок каптоо жабдыгы пленканын компакттуулугунун жана жогорку иондошуу ылдамдыгынын талаптарына жооп берген магнетрондук чачыранды жана катод жаасын бириктирген каптоо технологиясын кабыл алат.Жабдуулар вертикалдуу түзүлүштө, ал эми вакуумдук камерада вертикалдуу түрдө даярдалган орогуч системасы орнотулган.Көп камералуу эшиктин дизайны, катод капталдагы эшикке орнотулган, алты топтом катод булактары же ион булактары орнотулушу мүмкүн жана эшик ачылганда бутаны сактоого же алмаштырууга болот.Жабдуулар көп катмарлуу пленканы орнотуу үчүн бир эле учурда бир эле учурда бөлүкчөлөрдүн бетин тазалоону жана көп катмарлуу жабууну жүргүзө алат.Ар кандай металл же аралаш каптоочу материалдар үчүн ылайыктуу.
Жабдуулар кооз көрүнүшү, компакттуу түзүлүшү, кичинекей полунун аянты, автоматташтыруунун жогорку даражасы, жөнөкөй жана ийкемдүү иштөө, туруктуу иштөө жана жеңил тейлөө өзгөчөлүктөрүнө ээ.Бул лабораторияларда жана колледждерде колдонуу үчүн өзгөчө ылайыктуу.Кардарлар ар кандай муктаждыктарына жараша тандап алат.
Кошумча моделдер | Жабдуулардын өлчөмү (туурасы) |
RCW300 | 300мм |