HFCVD0606

Химиялык бууларды жайгаштыруу жабдууларынын вакуумдук каптоо камерасы муздатууда эффективдүү жана бирдей, коопсуз жана туруктуу түзүлүшкө ээ болгон көз карандысыз эки катмарлуу суу муздатуу структурасын кабыл алат.Жабдуу инфракызыл температураны өлчөө, спектрдик анализ, видео мониторинг жана термопара сыяктуу кошумча перифериялык түзүлүштөрдү тышкы туташтыруу үчүн ыңгайлуу болгон кош эшиктер, бир нече байкоо терезелери жана бир нече кеңейтүү интерфейстери менен иштелип чыккан.Өркүндөтүлгөн дизайн концепциясы күнүмдүк капиталдык оңдоону жана техникалык тейлөөнү, конфигурацияны өзгөртүүнү жана жабдууну жаңыртууну жеңил жана жөнөкөй кылат, ошондой эле колдонуу жана жаңыртуу чыгымдарын натыйжалуу азайтат.

Жабдуу өзгөчөлүктөрү:

жабдуулардын 1.The инфляция компоненттери, негизинен, массалык агымы өлчөгүч, электромагниттик клапан жана газ аралаштыруу цистернасын камтыйт, ал процесс газ агымын так контролдоону, бирдиктүү аралаштыруу жана ар кандай газдарды коопсуз изоляциялоону камсыз кылат жана газ тутумунун компоненттерин колдонуу үчүн тандай алат. суюк газ булагы, суюк көмүртек булактарынын кеңири спектрин жекелештирилген тандоону жана синтетикалык өткөргүч алмаздын жана электроддун суюк бор булактарын коопсуз колдонууга көмөктөшөт.
2.The аба чыгаруу жыйын унчукпай жана натыйжалуу айланма канат боштук насос жана тез жогорку боштук өбөлгөлөрү айлана-чөйрөнү канааттандыра алат турбо молекулярдык насос системасы менен жабдылган.Каршылык өлчөөчү жана иондошуу өлчөгүч менен композиттик вакуум өлчөгүч вакуумдук өлчөө үчүн колдонулат, ошондой эле ар кандай процесс газдарынын басымын кеңири диапазондо өлчөй алган сыйымдуулуктун пленкалуу ченегич системасы.Депозиттик басым толугу менен автоматтык түрдө жогорку тактыктагы пропорционалдык башкаруу клапаны тарабынан башкарылат.
3.The муздатуу суу компоненти көп каналдуу суунун басымы, агымы, температураны өлчөө жана программалык автоматтык мониторинг менен жабдылган.Ар кандай муздатуу компоненттери бири-биринен көз карандысыз, бул каталарды тез диагностикалоо үчүн ыңгайлуу.Бардык бутактарда коопсуз жана эффективдүү болгон көз карандысыз клапан өчүргүчтөр бар.
4.The электр башкаруу компоненттери ири өлчөмдөгү адам-машина Interface ЖК экранды кабыл алуу жана PLC толук автоматтык башкаруу менен кызматташат процесси формуланы түзөтүү жана импорттоого көмөктөшүү.Графикалык ийри сызык ар кандай параметрлердин өзгөрүшүн жана маанилерин визуалдык түрдө көрсөтөт, ал эми жабдуулар жана процесстин параметрлери көйгөйлөрдү издөөнү жана маалыматтарды статистикалык талдоону жеңилдетүү үчүн автоматтык түрдө жазылат жана архивделет.
5.The workpiece стойка субстрат үстөл көтөрүү жана түшүрүү көзөмөлдөө үчүн Servo мотор менен жабдылган.graphite же кызыл жез субстрат үстөл тандалышы мүмкүн.Температура термопар менен өлчөнөт.
6.The стойка компоненттери кардарлардын атайын иштетүү талаптарын канааттандыруу үчүн кардарлардын талаптарына ылайык бүтүндөй же өзүнчө иштелип чыккан болушу мүмкүн.
7.The мөөр табак компоненттери кооз жана жарашыктуу болуп саналат.Жабдуулардын ар кандай функционалдык модулдук аймактарында пломбалоочу плиталар тез эле демонтаждалып же өз алдынча ачылып жабылышы мүмкүн, бул колдонууга абдан ыңгайлуу.

Hot Filament CVD жабдуулары алмаз материалдарын, анын ичинде жука пленка менен каптоо, өзүн-өзү колдой турган калың пленка, микрокристаллдык жана нанокристаллдык алмаз, өткөргүч алмаз ж. кремний жана кремний карбиди, приборлорду жылуулук таркатуучу каптоо, бор кошулган өткөргүч алмаз электрод, электролиттик сууну озон менен дезинфекциялоо же канализацияны тазалоо сыяктуу.