Жабдуулар магнетронду чачыратуу жана каршылык буулануу технологиясын бириктирет жана ар кандай субстраттарды каптоо үчүн чечимди камсыз кылат.
Эксперименталдык каптоо жабдуулары негизинен университеттерде жана илимий изилдөө мекемелеринде колдонулат жана ар кандай эксперименталдык талаптарга жооп бере алат.Жабдуулар үчүн ар кандай структуралык максаттар сакталган, алар ийкемдүү түрдө ар кандай тармактардагы илимий изилдөөлөргө жана иштеп чыгууларга жооп бере тургандай конфигурацияланса болот.Магнетрон чачыратуу системасы, катоддук жаа системасы, электрондук нур буулануу системасы, каршылык буулануу системасы, CVD, PECVD, ион булагы, кыйшаюу системасы, жылытуу системасы, үч өлчөмдүү арматура, ж.б. тандаса болот.Кардарлар ар кандай муктаждыктарына жараша тандап алат.
Жабдуулар кооз көрүнүшү, компакттуу түзүлүшү, кичинекей полунун аянты, автоматташтыруунун жогорку даражасы, жөнөкөй жана ийкемдүү иштөө, туруктуу иштөө жана жеңил тейлөө өзгөчөлүктөрүнө ээ.
Жабдуулар пластик, дат баспас болоттон жасалган, электропластикаланган аппараттык / пластик бөлүктөрү, айнек, керамика жана башка материалдарга колдонулушу мүмкүн.Титан, хром, күмүш, жез, алюминий сыяктуу жөнөкөй металл катмарлары же TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC сыяктуу металл кошулма пленкалар даярдалышы мүмкүн.
ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
φ500*H600(мм) | φ600*H800(мм) | φ800*H1000(мм) |