1.Жаа жарык электрон агымынын мүнөздөмөсү
Дога разрядынан пайда болгон дога плазмасындагы электрон агымынын, ион агымынын жана жогорку энергиялуу нейтралдуу атомдордун тыгыздыгы жаркыраган разрядга караганда бир топ жогору.Каптоо мейкиндигинде көбүрөөк газ иондору жана металл иондору иондоштурулган, толкунданган жогорку энергиялуу атомдор жана ар кандай активдүү топтор бар, алар каптоо процессинин жылытуу, тазалоо жана каптоо этаптарында маанилүү роль ойношот.Дога электрондорунун агымынын аракет формасы иондук нурдан айырмаланат, алардын баары “нурга” бириге бербейт, бирок көбүнчө дивергенттик абалда, ошондуктан ал догалык электрон агымы деп аталат.Дога электрондору анодду көздөй агып келгендиктен, доганын электрондорунун агымы дога кубатынын оң электроду туташтырылган жерге багытталат жана анод даярдоочу тетик, көмөкчү анод, тигель ж.б.
2. Дога электрон агымын түзүү ыкмасы
(1) Газ булагы жаа электронунун агымын жаратат: көңдөй катоддун жаа разрядынын жана ысык зым жаасынын разрядынын жаа агымы болжол менен 200Ага жетиши мүмкүн, ал эми жаа чыңалуусу 50-70V.
(2) Катуу булак жаа электронунун агымын жаратат: катоддук жаа булагы, анын ичинде кичинекей жаа булагы, цилиндрдик жаа булагы, тик бурчтуу тегиздик чоң жаа булагы ж.б. 18-25V.
Арка разряддуу плазмалардын эки түрүндөгү жогорку тыгыздыктагы жана аз энергиялуу жаа электрондорунун агымы газ жана металл пленкасынын атомдору менен интенсивдүү кагылышууну иондоштурууну жаратып, көбүрөөк газ иондорун, металл иондорун жана ар кандай жогорку энергиялуу активдүү атомдорду жана топторду алып, ошону менен пленка катмарынын иондорунун жалпы активдүүлүгү.
– Бул макаланы Гуандун Чжэнхуа чыгарган, авакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсү
Посттун убактысы: 31-май-2023