1. Даярдалуучу материалдын кыйшаюусу төмөн
Иондошуу ылдамдыгын жогорулатуу үчүн түзүлүштүн кошулганынан улам разряд токунун тыгыздыгы жогорулайт, ал эми ийилген чыңалуу 0,5~1кВ чейин төмөндөйт.
Жогорку энергиялуу иондордун ашыкча бомбалоосунан келип чыккан артка чыгуу жана даярдалган тетиктин бетине зыян таасири азаят.
2. Плазманын тыгыздыгынын жогорулашы
Кагылышуу иондоштурууну илгерилетүү боюнча ар кандай чаралар кошулду жана металлдын иондошуу ылдамдыгы 3%тен 15%ке чейин өстү.Жабуучу камерадагы ээк иондорунун жана жогорку энергиялуу нейтралдуу атомдордун, азот иондорунун, жогорку энергиялуу активдуу атомдордун жана активдуу топтордун тыгыздыгы жогорулайт, бул кошулмаларды түзүү реакциясына ыңгайлуу.Жогорудагы ар кандай өркүндөтүлгөн жаркыроо разрядынын иондук каптоо технологиялары плазманын жогорку тыгыздыгында реакция туташтыруу жолу менен TN катуу пленка катмарларын ала алды, бирок алар жаркыраган разряддын тибине таандык болгондуктан, разряддын токтун тыгыздыгы жетиштүү эмес (мА/см2 деңгээли дагы эле) ), жана жалпы плазма тыгыздыгы жетишерлик жогору эмес, жана реакция туташтыруу кошулма каптоо процесси кыйын.
3. чекиттик буулануу булагынын каптоо диапазону аз
Ар кандай өркүндөтүлгөн иондук каптоо технологиялары электрон нурларынын буулануу булактарын, ал эми ганту чекиттик буулануу булагы катары колдонушат, ал реакция туташтыруу үчүн гантудан жогору белгилүү бир интервал менен чектелет, ошондуктан өндүрүмдүүлүк төмөн, процесс кыйын жана аны индустриялаштыруу кыйын.
4. Электрондук курал жогорку басымда иштөө
Электрондук тапанчанын чыңалуусу 6~30кВ, ал эми даярдалган чыңалуу 0,5~3кВ болуп саналат, бул жогорку вольттогу операцияга таандык жана белгилүү бир коопсуздук коркунучтары бар.
——Бул макаланы Гуандун Чжэнхуа Технологиясы чыгарган, аоптикалык каптоочу машиналарды чыгаруучу.
Посттун убактысы: 12-май-2023