Баарыбызга белгилүү болгондой, жарым өткөргүчтүн аныктамасы кургак өткөргүчтөр менен изоляторлордун ортосундагы өткөргүчтүккө ээ, металл менен изолятордун ортосундагы каршылыкка ээ, адатта бөлмө температурасында 1мΩ-см ~ 1GΩ-см чегинде болот. Акыркы жылдары, негизги жарым өткөргүч компанияларда вакуумдук жарым өткөргүч каптоо, анын статусу барган сайын жогору экени айкын көрүнүп турат, айрыкча, кээ бир масштабдуу интегралдык схемаларды иштеп чыгуу технологиясын изилдөө ыкмаларын магнитоэлектрдик конверсиялык түзүлүштөргө, жарык чыгаруучу аппараттарга жана башка өнүктүрүү иштерине.Вакуумдук жарым өткөргүч каптоо маанилүү роль ойнойт.
Жарым өткөргүчтөр өздөрүнүн ички мүнөздөмөлөрү, температурасы жана аралашма концентрациясы менен мүнөздөлөт.Вакуумдук жарым өткөргүч каптоочу материалдар бири-биринен негизинен курамындагы кошулмалар менен айырмаланат.Болжол менен бардыгы бор, көмүртек, кремний, германий, мышьяк, сурьма, теллур, йод ж.б. жана кээ бир салыштырмалуу аз GaP, GaAs, lnSb ж. MnO, Cr₂O₃, Cu₂O, ж.б.
Вакуумдук буулантуу, чачыратуу каптоо, иондук каптоо жана башка жабдуулар вакуумдук жарым өткөргүч каптоо жасай алат.Бул жабуу жабдуулары алардын иштөө принцибинде айырмаланат, бирок алардын бардыгы субстраттын үстүнө салынган жарым өткөргүч материалды каптоочу материалды түзөт жана субстраттын материалы катары эч кандай талап жок, ал жарым өткөргүч болушу мүмкүн же болбошу мүмкүн.Мындан тышкары, ар кандай электрдик жана оптикалык касиеттери менен каптоо бир диапазондо жарым өткөргүч субстрат бетине аралашма диффузия жана ион имплантациялоо менен да даярдалышы мүмкүн.Алынган жука катмарды жалпысынан жарым өткөргүч каптоо катары иштетүүгө болот.
Вакуумдук жарым өткөргүч каптоо - бул активдүү же пассивдүү түзүлүштөр үчүн болобу, электрониканын ажырагыс бөлүгү.Вакуумдук жарым өткөргүчтөрдү каптоо технологиясынын тынымсыз өнүгүшү менен пленканын иштешин так көзөмөлдөө мүмкүн болду.
Акыркы жылдары аморфтук каптоо жана поликристаллдык каптоо фотоөткөргүч приборлорду, капталган талаа эффективдүү түтүктөрдү жана жогорку эффективдүү күн батареяларын жасоодо тез прогресске жетишти.Мындан тышкары, вакуумдук жарым өткөргүч каптоо жана сенсорлордун жука пленкасы иштелип чыккандыктан, бул материалды тандоонун кыйынчылыгын бир кыйла азайтат жана өндүрүш процессин акырындык менен жөнөкөйлөтөт.Вакуумдук жарым өткөргүчтөрдү каптоочу жабдуулар жарым өткөргүчтөрдү колдонуу үчүн зарыл болуп калды.Жабдуулар камералык түзүлүштөрдү, күн батареяларын, капталган транзисторлорду, талаа эмиссиясын, катоддук жарыкты, электрондорду чыгарууну, жука пленканы сезүүчү элементтерди ж.б. жарым өткөргүчтүү каптоо үчүн кеңири колдонулат.
Магнетрон чачыратуу каптоо линиясы толук автоматтык башкаруу системасы, ыңгайлуу жана интуитивдик сенсордук экран адам-машина интерфейси менен иштелип чыккан.Линия бүтүндөй өндүрүш линиясынын компоненттеринин иштөө абалына, процесстин параметрин орнотууга, операцияны коргоо жана сигнализация функцияларына толук мониторинг жүргүзүү үчүн толук функция менюсу менен иштелип чыккан.Бардык электр башкаруу системасы коопсуз, ишенимдүү жана туруктуу.Жогорку жана төмөнкү эки тараптуу магнетрон чачыратуу максаттуу же бир тараптуу каптоо системасы менен жабдылган.
Жабдуулар негизинен керамикалык схемаларга, чип жогорку вольттогу конденсаторлорго жана башка субстрат каптоосуна колдонулат, негизги колдонуу аймактары электрондук схемалар болуп саналат.
Билдирүү убактысы: 2022-жылдын 7-ноябрына чейин