1. Термикалык CVD технологиясы
Катуу жабуулар көбүнчө металл керамикалык каптамалар (TiN ж. б.), алар каптоодогу металлдын реакциясынан жана реактивдүү газдаштыруудан пайда болот.Алгач, жылуулук CVD технологиясы 1000 ℃ жогорку температурада жылуулук энергиясы менен айкалыштыруу реакциясынын активдешүү энергиясын камсыз кылуу үчүн колдонулган.Бул температура цементтелген карбид куралдарына TiN жана башка катуу жабууларды салуу үчүн гана ылайыктуу.Азырынча, цементтелген карбид шайман баштарына TiN-Al20 композиттик каптоолорду салуу дагы эле маанилүү технология болуп саналат.
2. Көңдөй катод иондук каптоо жана ысык зым жаасы иондук каптоо
1980-жылдары капталган кесүүчү шаймандарды коюу үчүн көңдөй катод иондук каптоо жана ысык зым иондук каптоо колдонулган.Бул эки ион каптоо технологиялары 20% ~ 40% га чейин металл иондоштуруу курсу менен, жаасы разряд ион каптоо технологиялар болуп саналат.
3. Катоддук иондук каптоо
Катоддук дога иондук каптоосунун пайда болушу калыптарга катуу жабууларды салуу технологиясын өнүктүрүүгө алып келди.Катоддук дога иондук каптоосунун иондошуу ылдамдыгы 60% ~ 90% түзөт, бул көп сандагы металл иондорунун жана реакциялык газ иондорунун даярдалган тетиктин бетине жетип, дагы эле жогорку активдүүлүктү сактап калууга мүмкүндүк берет, натыйжада реакциянын чөгүшү жана катуу каптамалардын пайда болушуна алып келет. TiN.Азыркы учурда, катоддук жаасы иондук каптоо технологиясы, негизинен, калыптарга катуу каптоо үчүн колдонулат.
Катоддук жаа булагы туруктуу эриген бассейни жок катуу абалдагы буулануу булагы болуп саналат, ал эми жаа булагы позициясын өзүм билемдик менен жайгаштырса болот, каптоо бөлмөсүнүн мейкиндигин пайдалануу курсун жакшыртат жана мештин жүктөө жөндөмдүүлүгүн жогорулатат.Катоддук жаа булактарынын формаларына кичинекей тегерек катоддук жаа булактары, мамычалуу дога булактары жана тик бурчтуу жалпак чоң жаа булактары кирет.Чакан жаа булактарынын, мамычалуу жаа булактарынын жана чоң жаа булактарынын ар кандай компоненттери көп катмарлуу пленкалар жана нано көп катмарлуу пленкалар үчүн өзүнчө жайгаштырылышы мүмкүн.Ошол эле учурда, катоддук жаа ион каптоо жогорку металл иондошуу ылдамдыгы, металл иондору абдан жакшы катуу жабууну алуу үчүн кең жараян диапазону жана жөнөкөй иш натыйжасында, көбүрөөк реакция газдарын сиңирип алат.Бирок катоддук дога иондук каптоо менен алынган каптоо катмарынын микроструктурасында одоно тамчылар бар.Акыркы жылдарда пленка катмарынын структурасын тактоо үчүн көптөгөн жаңы технологиялар пайда болду, бул дога иондук каптоочу пленканын сапатын жакшыртты.
——Бул макаланы Гуандун Чжэнхуа Технологиясы чыгарган, аоптикалык каптоочу машиналарды чыгаруучу.
Посттун убактысы: 28-апрель-2023