Плазманын түз полимерлөө процесси

Плазманын түз полимерлөө процесси

Плазманы полимерлөө процесси ички электродду полимерлөөчү жабдык үчүн да, тышкы электродду полимерлөөчү жабдуулар үчүн да салыштырмалуу жөнөкөй, бирок плазмадагы полимерлөөдө параметр тандоо маанилүүрөөк, анткени плазма полимерлөө процессинде параметрлер полимер пленкаларынын түзүлүшүнө жана иштешине көбүрөөк таасир этет.

Түз плазманы полимерлөө үчүн операция кадамдары төмөнкүдөй:

(1) Чаң соргуч

Вакуумдук шарттарда полимеризациянын фондук вакууму 1,3×10-1Па чейин айдалышы керек.Кычкылтек же азот мазмунун көзөмөлдөө үчүн атайын талаптарды талап кылган полимерлөө реакциялары үчүн фон вакуум талабы андан да жогору.

(2) Заряддын реакциясы мономери же ташуучу газ менен мономердин аралаш газы

Вакуумдук даражасы 13-130Па.Плазманы полимеризациялоону талап кылган жумуш үчүн агымды башкаруунун ылайыктуу режими жана агымынын ылдамдыгы тандалышы керек, жалпысынан 10,100 мл/мин.Плазмада мономердин молекулалары иондоштурулуп, энергетикалык бөлүкчөлөрдүн бомбалоосу менен диссоциацияланат, натыйжада иондор жана активдүү гендер сыяктуу активдүү бөлүкчөлөр пайда болот.Плазма менен активдештирилген активдүү бөлүкчөлөр газ фазасынын жана катуу фазанын интерфейсинде плазма полимеризациясынан өтүшү мүмкүн.Мономер плазмадагы полимеризациянын прекурсорунун булагы болуп саналат, ал эми кирүүчү реакция газы жана мономер белгилүү бир тазалыкка ээ болушу керек.

(3) дүүлүктүрүүчү электр менен жабдууну тандоо

Плазма полимерлөө үчүн плазма чөйрөсүн камсыз кылуу үчүн DC, жогорку жыштыктагы, RF же микротолкундуу энергия булактарын колдонуу менен түзүлүшү мүмкүн.Электр менен жабдууну тандоо полимердин түзүлүшүнө жана иштөөсүнө талаптардын негизинде аныкталат.

(4) разряд режимин тандоо

Полимердик талаптар үчүн плазма полимеризациясы эки разряд режимин тандай алат: үзгүлтүксүз разряд же импульстук разряд.

(5) Разряддын параметрлерин тандоо

Плазманын полимеризациясын жүргүзүүдө разряддын параметрлерин плазманын параметрлеринен, полимерлердин касиеттеринен жана структуралык талаптардан эске алуу керек.Полимерлөө учурунда колдонулган кубаттуулуктун чоңдугу вакуумдук камеранын көлөмү, электроддун өлчөмү, мономердин агымынын ылдамдыгы жана структурасы, полимерлөө ылдамдыгы жана полимердин структурасы жана натыйжалуулугу менен аныкталат.Мисалы, реакция камерасынын көлөмү 1л болсо жана RF плазмасынын полимеризациясы кабыл алынса, разряддын күчү 10 ~ 30 Вт диапазонунда болот.Мындай шарттарда генерацияланган плазма агрегаттын бетинде жука пленка түзүшү мүмкүн.Плазма полимерлөө пленкасынын өсүү темпи электр менен жабдууга, мономердин түрүнө жана агымынын ылдамдыгына жана процесстин шарттарына жараша өзгөрөт.Жалпысынан алганда, өсүү темпи 100nm / мин ~ 1um / мин.

(6) Плазманы полимерлөөдө параметрди өлчөө

Плазманы полимерлөөдө өлчөнө турган плазманын параметрлери жана процессинин параметрлери төмөнкүлөрдү камтыйт: разряд чыңалуусу, разряддык ток, разряддын жыштыгы, электрондун температурасы, тыгыздыгы, реакция тобунун түрү жана концентрациясы ж.б.

——Бул макаланы Гуандун Чжэнхуа Технологиясы чыгарган, аоптикалык каптоочу машиналарды чыгаруучу.