Sputtering каптоо машинасынын процессинин агымы

1. Бомбардоону тазалоочу субстрат

1.1) Чачуучу каптоочу машина субстратты тазалоо үчүн жаркыраган разрядды колдонот.Башкача айтканда, аргон газын камерага заряддаңыз, разряддын чыңалуусу 1000 В айланасында, электр менен жабдууну күйгүзгөндөн кийин, жаркыраган разряд пайда болот жана субстрат аргон ионунун бомбалоосу менен тазаланат.

1.2) Өнөр жайда жогорку сапаттагы жасалгаларды чыгарган чачыраткыч каптоочу машиналарда, көбүнчө кичинекей дога булактарынан бөлүнүп чыккан титан иондору тазалоо үчүн колдонулат.Чачыратуучу каптоочу машина кичинекей жаа булагы менен жабдылган жана кичинекей жаа булагы разрядынан пайда болгон дога плазмасындагы титан ионунун агымы субстратты бомбалоо жана тазалоо үчүн колдонулат.

2. Титан нитриди менен каптоо

Титан нитридинин жука пленкаларын коюуда чачыратуу үчүн максаттуу материал титан бутасы болуп саналат.Максаттуу материал чачыраткыч электр менен жабдуунун терс электродуна туташтырылган жана максаттуу чыңалуу 400 ~ 500V;Аргондун агымы белгиленген, ал эми башкаруу боштугу (3~8) x10^-1PA.Субстрат 100~200V чыңалуусу менен, электр менен жабдуунун терс электродуна туташтырылган.

Чачыраган титан бутанын кубат менен камсыздоосун күйгүзгөндөн кийин, жаркыраган разряд пайда болот жана жогорку энергиялуу аргон иондору титан атомдорун бутага чачыратып, чачыратуу бутаны бомбалайт.

Реакция газ азоту киргизилип, титан атомдору жана азот каптоо камерасында титан иондоруна жана азот иондоруна иондоштурулган.Субстратка колдонулуучу терс бурмалуу электр талаасынын тартылуусу астында титан иондору жана азот иондору субстраттын бетине химиялык реакцияга жана титан нитридинин пленка катмарын пайда кылуу үчүн тездетет.

3. Субстратты чыгарып алыңыз

Алдын ала белгиленген пленканын калыңдыгына жеткенден кийин, чачыраткыч кубат менен жабдууну, субстраттын кубат менен камсыздоосун жана аба булагын өчүрүңүз.Субстрат температурасы 120 ℃ төмөн болгондон кийин, каптоо камерасын аба менен толтуруңуз жана субстратты чыгарыңыз.

Бул макала жарыяланатмагнетрон чачуучу каптоо машина өндүрүүчүсү– Гуандун Чжэнхуа.