Көңдөй катод иондук каптоо процесси

Көңдөй катод иондук каптоо процесси төмөнкүдөй:

1、Чындын куймаларын кыйрагыла.

2, Даярдоо бөлүгүн орнотуу.

3、5×10-3Пага эвакуациялангандан кийин, аргон газы каптоо камерасына күмүш түтүктөн киргизилет, ал эми вакуум деңгээли 100Па тегерегинде болот.

4、Бийиктик күчүн күйгүзүңүз.

5、Көңүл катоддун разрядын күйгүзүү үчүн жаа күчүн күйгүзгөндөн кийин. Жаркыраган разряд баскыч түтүкчөсүндө пайда болот, разряддын чыңалуусу 800~1000V, жаа көтөрүүчү агым 30~50A. разряд, Жогорку жаркырап разряд токунун тыгыздыгы, Күмүш түтүктөгү келемиш иондорунун жогорку тыгыздыгы вантаждык түтүктүн дубалын бомбалайт, Түтүк дубалын электрон агымынын эмиссиясына чейин тез жылытат, жаркыраган разряддан разряд режими капыстан өзгөрөт. жаа разряды, Voltage 40 ~ 70V, Ток 80 ~ 300A. Silver түтүк температурасы 2300K жогору жетет, Жылытуу, түтүктөн жаа электрондорунун жогорку тыгыздыктагы агымын чыгарат, жана анодго атып.

6、Вакуум деңгээлин жөндөө. Көңдөй катоддук мылтыктан жаркыраган разряд үчүн вакуумдук деңгээл болжол менен 100 Па, Ал эми вакуумдук каптоо даражасы 8×10-1~2Па. Ошондуктан, жаа разряды күйгөндөн кийин, Кирүүчү аргонду азайтыңыз газ мүмкүн болушунча тезирээк, вакуум деңгээлин каптоо үчүн ылайыктуу диапазонго тууралаңыз.

7、Титан капталган базалык катмар. Аноддук түрдө кыйраган ээк металл куймасына электрон агымы, кинетикалык энергиянын жылуулук энергиясына айланышы, ысытуу аркылуу ээк металлынын бууланышы, буу атомдору титан пленкасын түзүү үчүн даярдалган бөлүгүнө жетет.

8、TiN.Тендирүү.Азот газы каптоо камерасына берилет,Азот газы жана бууланган атомдор азот жана титан иондоруна иондоштулат.Тигелдин үстүндө,Төмөн энергиянын тыгыз агымдары менен титан буусунун атомдорунун ийкемсиз кагылышууларынын жогорку ыктымалдыгы, Металлдын диссоциациялануу ылдамдыгы 20% ~ 40% га чейин жогору., Титан иондору реакция газ азоту менен химиялык реакцияга кирет, Нитрид мантиясынын пленка катмарын алуу үчүн чөктүрөт. Көңдөй катод куралы да буулануу булагы болуп саналат， Башка булак иондошуу. Каптоо учурунда, Тигельдин айланасындагы электромагниттик катушканын агымы да жөнгө салынышы керек, Электрондук нурду кыйроонун борборуна багыттаңыз, Ошентип, электрон агымынын кубаттуулугу жогорулайт.

9、Күчтү өчүрүңүз.Пленка калыңдыгы алдын ала белгиленген пленканын калыңдыгына жеткенден кийин, жаа кубаты менен камсыздоону өчүрүңүз、Электр кубаты менен жабдууну жана аба менен камсыздоону өчүрүңүз.