Чакан арка булагы иондук каптоо процесси

Катоддук жаа булагы иондук каптоо процесси, негизинен, башка каптоо технологиялары менен бирдей, ал эми кээ бир операциялар, мисалы, бөлүктөрдү орнотуу жана чаң соргуч мындан ары кайталанбайт.

1. Дайындалуучу заттарды бомбалоо менен тазалоо

Каптоо алдында аргон газы каптоочу камерага 2×10-2Па вакуум менен киргизилет.

Иштөө цикли 20% жана 800-1000 В болгон бөлүкчөлөрдүн кыйшаюусу менен импульстук электр менен жабдууну күйгүзүңүз.

Дога кубаты күйгүзүлгөндө муздак талаа жаасынын жарык разряды пайда болот, ал дога булагынан көп сандагы электрон токту жана титан ионунун токун чыгарып, жогорку тыгыздыктагы плазманы түзөт.Титан иону даярдалган тетиктин бетине адсорбцияланган калдык газды жана булгоочу заттарды бомбалоо жана чачыратуу, даярдалган тетиктин бетин тазалоо жана тазалоо;Ошол эле учурда каптоочу камерадагы хлор газы электрондор менен иондоштурулуп, аргон иондору даярдалган материалдын бетинин бомбаланышын тездетет.

Ошондуктан, бомбалоонун тазалоо эффектиси жакшы.Болжол менен 1 мүнөттүк бомбалоо менен тазалоо даярдалган бөлүгүн тазалай алат, ал "негизги доого бомбалоо" деп аталат.Титан иондорунун массасы чоң болгондуктан, кичинекей жаа булагы даярдалган бөлүгүн бомбалоо жана тазалоо үчүн өтө көп убакыт колдонулса, даярдалган тетиктин температурасы ашыкча ысып кетиши мүмкүн, ал эми аспаптын чети жумшак болуп калышы мүмкүн.Жалпы өндүрүштө кичинекей жаа булактары өйдөдөн ылдый карай бирден күйгүзүлөт жана ар бир кичинекей жаа булагы 1 мүнөттөй бомбалоо менен тазалоо убактысына ээ.

（1） Титандын астыңкы катмарын каптоо

Пленка менен субстраттын ортосундагы адгезияны жакшыртуу үчүн титан нитриди менен каптоодон мурун таза титан субстратынын катмары адатта капталат.Вакуумдун деңгээлин 5×10-2-3×10-1Пага тууралаңыз, даярдалган тетиктин чыңалуусун 400-500V ге тууралаңыз жана импульстун кыйшаюусу менен камсыздоонун иштөө циклин 40% ~ 50% га чейин тууралаңыз.Муздак талаадагы жаа разрядын пайда кылуу үчүн дагы эле кичинекей жаа булактарын биринин артынан бири күйгүзөт.Дайындалуучу тетиктин терс бурмалуу чыңалуусунун азайышынан титан иондорунун энергиясы азаят.Дайындамага жеткенден кийин чачыратуу эффектиси чөкүү эффектинен азыраак жана титан нитридинин катуу пленкасы менен субстраттын ортосундагы байланыш күчүн жакшыртуу үчүн даярдалган материалда титан өткөөл катмары пайда болот.Бул процесс ошондой эле даярдалган материалды ысытуу процесси болуп саналат.Таза титан максаттуу разрядда болгондо, плазмадагы жарык көк көк болот.

1.Ammonated табак катуу пленка каптоо

Вакуум даражасын 3×10го тууралаңыз^-1-5Па, даярдалган чыңалуудагы чыңалууну 100-200V чейин жөндөңүз жана импульстун кыйшаюусу менен камсыз кылуунун иштөө циклин 70% ~ 80% түзөтүңүз.Азот киргизилгенден кийин титан титан нитридинин катуу пленкасын жайгаштыруу үчүн дога разрядынын плазмасы менен айкалыштырылган реакция.Бул учурда вакуумдук камерадагы плазманын жарыгы алча кызыл болуп саналат.Эгерде C₂H₂, О₂жана башкалар киргизилет, TiCN, TiO₂, жана башкалар пленка катмарларын алууга болот.

– Бул макаланы Гуандун Чжэнхуа чыгарган, авакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсү