Вакуумдук иондук каптоо (кыскача иондук каптоо) 1963-жылы Америка Кошмо Штаттарында Somdia компаниясынан DM Mattox тарабынан сунушталган 1970-жылдары тез иштелип чыккан бетти тазалоонун жаңы технологиясы. Бул буулануу булагын же чачыратуу процессин билдирет. вакуумдук атмосферада пленкалык материалды буулантууга же чачыратууга багытталган.
Биринчиси, газ разрядынын плазма мейкиндигинде металл буусуна жана жогорку энергиялуу нейтралдуу атомдорго жарым-жартылай иондоштурулган жана электр талаасынын аракети аркылуу пленка түзүү үчүн субстратка жеткен пленкалуу материалды ысытуу жана буулоо аркылуу металл буусун түзүү. ;акыркысы жогорку энергиялуу иондорду колдонот (Мисалы, Ar+) пленкалык материалдын бетин бомбалайт, ошондо чачылган бөлүкчөлөр газ разрядынын мейкиндиги аркылуу иондорго же жогорку энергиялуу нейтралдуу атомдорго айланат жана субстраттын бетин ишке ашырат. фильм түзүү.
Бул макаланы өндүрүүчү Гуандун Чжэнхуа жарыялаганвакуумдук каптоо жабдуулары
Посттун убактысы: Мар-10-2023