Чынында, ион нурунун жардамы менен жайгаштыруу технологиясы курама технология болуп саналат.Бул ионду имплантациялоону жана физикалык буу коюу пленка технологиясын жана ион нурунун беттик оптималдаштыруу техникасынын жаңы түрүн айкалыштырган курама беттик ионду тазалоо ыкмасы.Физикалык буу коюунун артыкчылыктарынан тышкары, бул ыкма катуу контролдоо шарттарында ар кандай калыңдыктагы пленканы тынымсыз өстүрө алат, пленка катмарынын кристаллдуулугун жана багытын кыйла жакшыртат, пленка катмарынын / субстраттын адгезия күчүн жогорулатат, тыгыздыгын жакшыртат. плёнка катмарын жана бөлмө температурасында жана басымда алынбай турган пленкалардын жаңы түрлөрүн кошкондо, идеалдуу стехиометриялык катышы бар татаал пленкаларды бөлмө температурасында синтездейт.Ион нурунун жардамы менен жайгаштыруу иондук имплантация процессинин артыкчылыктарын гана сактап калбастан, субстратты субстраттан таптакыр башка пленка менен каптай алат.
Физикалык бууларды жайгаштыруунун жана химиялык буулардын бардык түрлөрүндө, IBAD системасын түзүү үчүн кошумча бомбалоочу ион мылтыктарынын топтомун кошууга болот жана сүрөттө көрсөтүлгөндөй, төмөнкүдөй эки жалпы IBAD процесси бар:
Сүрөттө (а) көрсөтүлгөндөй, электрон нурунун буулануу булагы пленка катмарын иондук тапанчадан чыккан ион нуру менен нурлантуу үчүн колдонулат, ошентип ион нурунун жардамы менен чөктүрүүнү ишке ашырат.Артыкчылыгы - ион нурунун энергиясы жана багыты жөнгө салынышы мүмкүн, бирок буулануу булагы катары бир гана же чектелген эритме же кошулма колдонулушу мүмкүн жана эритме компонентинин жана кошулмасынын ар бир буу басымы ар түрдүү, бул аны кыйындатат баштапкы буулануу булагы курамынын пленка катмарын алуу үчүн.
Сүрөт (b) ион нурунун чачыратуу жардамы менен чөктүрүүнү көрсөтөт, ал кош ион нурунун чачыратуу катмары деп да белгилүү, мында ион нурунун чачыраткыч каптоо материалынан жасалган бутага, чачыратуу продуктылары булак катары колдонулат.Аны субстратка салууда, ион нурунун чачыратуусунун жардамы менен туташтыруу башка ион булагы менен нурлануу аркылуу ишке ашат.Бул ыкманын артыкчылыгы чачылган бөлүкчөлөрдүн өздөрү белгилүү бир энергияга ээ, ошондуктан субстрат менен жакшыраак жабышуусу болот;бутанын ар кандай компоненти чачыраган каптоо болушу мүмкүн, бирок ошондой эле пленканын курамын жөнгө салуу оңой, бирок анын жайгаштыруу эффективдүүлүгү төмөн, максат кымбат жана тандалма чачуу сыяктуу көйгөйлөр бар.
Билдирүү убактысы: 2022-жылдын 08-ноябры