Магнетрондук чачыратуу жана катоддук көп жаа иондук каптоо композиттик каптоо жабдуулары өзүнчө жана бир убакта иштей алат;таза металл пленка, металл кошулма пленка же курама пленка депонирленген жана даярдалышы мүмкүн;пленканын бир катмары жана көп катмарлуу курама пленка болушу мүмкүн.
Анын артыкчылыктары төмөнкүдөй:
Ал ар кандай иондук каптоолордун артыкчылыктарын айкалыштырат жана колдонуунун ар кандай тармактары үчүн жука пленканы даярдоону жана коюуну эске алуу менен чектелбестен, бир эле вакуумда көп катмарлуу монолиттүү пленкаларды же көп катмарлуу композиттик пленкаларды түшүрүүгө жана даярдоого мүмкүндүк берет. каптоо камерасы бир убакта.
Депозиттик пленка катмарларын колдонууда анын технологиялары ар кандай формада кеңири колдонулат, типтүүлөрү төмөнкүдөй:
(1) тең салмактуу эмес магнетрондук чачыратуу жана катоддук ион менен каптоо технологиясы кошулмасы.
Анын аппараты төмөнкүдөй көрсөтүлөт.Бул колонналуу магнетрондук максаттуу жана тегиз катоддук иондук каптоодон турган курама каптоо жабдыгы, ал куралды каптоочу курама пленканы жана кооздук пленканы жабууга ылайыктуу.Курал жабуу үчүн, катоддук жаасы ион каптоо негизги катмар каптоо үчүн биринчи колдонулат, андан кийин колонна магнетрон максаттуу жогорку тактыктагы кайра иштетүү курал бетинин пленка алуу үчүн нитрид жана башка пленка катмарларын түшүрүү үчүн колдонулат.
Декоративдүү каптоо үчүн TiN жана ZrN декоративдик пленкаларын адегенде катоддук жаа менен каптоого болот, андан кийин магнетрондук буталарды колдонуу менен металл менен аралаштырса болот жана допинг эффектиси абдан жакшы.
(2) Эгиз тегиздик магнетрон жана мамычалык катод догасынын иондук каптоо ыкмаларынын кошулмасы.Аппарат төмөнкүдөй көрсөтүлөт.Бул өнүккөн эгиз максаттуу технологиясы колдонулат, эки жанаша эгиз максаттары орто жыштык электр менен камсыз кылуу менен байланышкан, ал гана эмес, DC sputtering, өрт жана башка кемчиликтери максаттуу ууланууну жеңет;жана Al203, SiO2 оксидинин сапаттуу пленкасын салышы мүмкүн, ошондуктан капталган бөлүктөрдүн кычкылдануу каршылыгы көбөйүп, жакшырды.Вакуумдук камеранын борборуна орнотулган тилкелүү көп жаа бутасы, максаттуу материал Ti жана Zr колдонулушу мүмкүн, бул көп жаа диссоциациясынын жогорку ылдамдыгынын артыкчылыктарын сактап калуу үчүн гана эмес, ошондой эле "тамчыларды" натыйжалуу азайтат. кичинекей тегиздик көп жаа максаттуу катмарлоо процесси, металл пленкаларынын, курама пленкалардын аз көзөнөктүүлүгүн сактоого жана даярдай алат.Эгерде Al жана Si периферияда орнотулган эгиз тегиз магнетрондук буталар үчүн максаттуу материалдар катары колдонулса, Al203 же Si0 металл-керамикалык пленкаларын коюуга жана даярдоого болот.Мындан тышкары, көп жаа буулануу булагынын бир нече кичинекей учактары четине орнотулушу мүмкүн, анын максаттуу материалы Cr же Ni болушу мүмкүн, ал эми металл пленкалар жана көп катмарлуу курама пленкалар жайгаштырылып, даярдалышы мүмкүн.Ошондуктан, бул курама каптоо технологиясы бир нече колдонмолор менен курама каптоо технологиясы болуп саналат.
Билдирүү убактысы: 2022-жылдын 08-ноябры