Praecipua notae evaporationis vacui methodi deponendi membranae est princeps rate depositionis.Praecipuum putris methodi est amplis materiae cinematographicae amplis ac bonae uniformitatis cinematographici, sed depositio rate humilis est.Ion efficiens modus est qui duos processus componit.
Ion coating principium et film condiciones formationis
The working principle of ion coating is shown in the Pic.Cubiculum vacuum ad pressionem infra 10-4 Pa sentinatur, tum gasi iners (eg argon) ad pressionem pa 0,1~1 impletur. Post negativam DC intentione ad 5 kv substrata applicatur, a. humilis pressionis gasi meridiem emissio plasmatis zonae constat inter subiectam et uasculum.Inertes gasi accelerantur ab electrico et bombard superficies subiecti, ita superficies fabricae purgans.His purgatis processibus, processus coatingis incipit a vaporizatione materiae in uasculo liniendae.Particulae vaporisatae vaporisatae in zonam plasmatis intrant et cum dissociatis inertibus positivis et electrons colliduntur, et nonnullae particulae vaporum dissociatae sunt, et opus fragmentum bombardarum et superficies efficiens sub acceleratione campi electrici.In processus ion plating non solum depositio sed etiam putris positivorum in subiecto est, ergo tenuis pellicula formari potest tantum cum depositio effectus maior est quam putris effectus.
Ion processus coatingis, in quo substratum semper ebullit magna industria iones, est mundissima et multa commoda habet ad putris et evaporationem ad tunicam comparatam.
(1) Fortis adhaesio, stratum efficiens facile non decoriabit.
(a) In processu coating ion, magna vis particularum energiae ex ardore missionis generatarum adhibentur ad effectum putris cathodici in superficie subiecti, putris et purgans gas et oleum in superficie adsortum. Substratum est ut superficies subiecta substernatur, donec totus processus efficiens compleatur.
b) In praematuro stadio tunicae, putris et depositionis coexistunt, quae transeuntem iacum partium in medio cinematographici basi vel mixtione materiae cinematographicae et basis materialis, quae dicitur "pseudo-difusionis" dicitur, formare potest. quae efficaciter adhaesionem cinematographicam emendare possunt.
(2.) Bona vestis circa proprietates.Una ratio est, quod atomi materiales efficiens sub magna pressione ionizantur et cum moleculis gasis pluries colliduntur in processu ad substratum, ita ut membranae materiales circum subiectae spargi possint.Praeterea atomi materiales tunicae ionizatae in superficie subiecti sub actione electrica campi depositae sunt, ergo totum subiectum cum tenui cinematographico positum est, sed evaporatio efficiens hunc effectum assequi non potest.
(3) Qualitas tunicae princeps est ex putris condensatorum ex constanti bombardarum depositarum cinematographicarum positivorum, quae densitatem iacuit tunicae melioris.
(4) Lata lectio materias efficiens et subiectas in materiis metallicis vel non-metallicis obduci potest.
(5) Comparatus depositionis chemicae vapori (CVD), temperatam inferiorem subiectam habet, infra D°C typicam, sed adhaesio vis eius plene comparabilis est cum pelliculis chemicis vapori depositionis.
(6) Magna depositio rate, formatio cinematographica velocissima, et crassitudinem pellicularum ex decem nanometris ad microns efficiens potuit.
Ion coating incommoda sunt: pelliculae crassities prorsus coerceri non potest;alta est intentio vitiorum, ubi tenuis vestis requiritur;et vapores superficiem intrabunt in tunica, quae superficies mutabit proprietates.In quibusdam casibus etiam cavitates et nuclei (minus quam 1 um) formantur.
Quantum ad rate depositionis, ion coating comparatur cum methodo evaporationis.Cum ad qualitatem cinematographicam, membranae ion efficiens factae sunt propinquae vel magis quam saliente praeparatae.
Post tempus: Nov-08-2022